一种在锆晶体表面镀锆铜非晶合金膜的方法技术

本发明专利技术公开了一种在锆晶体表面镀锆铜非晶合金薄膜的方法，是将经过精细抛光、清洗烘干的锆工件置于磁控溅射镀膜机中，预抽真空至优于5×10-4Pa，通入高纯氩气，调节真空度至0.35Pa，开启装有锆铜合金靶、或者高纯锆靶、铜靶的溅射源，调节功率至40~80W，沉积20~35分钟，关闭溅射源，即可制备0.69~1.05um的锆铜非晶合金膜，该膜与锆基体结合性能好，对锆基体的力学性能有所提高，能增强抗腐蚀性能和提高抗辐照能力。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种镀非晶合金薄膜的方法，特别是涉及一种在锆表面镀非晶合金薄膜的方法。
技术介绍
随着我国核电事业的发展，以及第四代核反应堆概念堆的提出，研究新材料已经成为建造第四代堆型的迫在眉睫事情。对于反应堆来说，制约其发展的重要因素是包壳材料该包壳材料要求具有以下条件1.具有良好的核性能，也就是中子吸收截面要小，感生放射性要弱；2.具有较好的导热性能；3.与核燃料的相容性要好；4.具有良好的机械性能，即能够提供合适的机械强度和韧性，使得在燃耗较深的条件下，仍能保持燃料元件的机械完整性；5.应有良好的抗腐蚀能力；6.具有良好的辐照稳定性；7.容易加工成形，成本低廉，便于后处理。现有的陶瓷包壳膜由于脆性大，热中子吸收截面大，热膨胀系数与锆合金基体相差比较大从而导致容易脱落，这一系列因素大大影响了其在包壳材料中的使用。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种低成本，工艺可控性强，且易于工业化规模生产的非晶态ZrCu薄膜材料的制备方法，能获得结合性强，膜质均匀致密，力学性能优异，耐腐蚀性能强，抗中子辐照能力强的ZrCu非晶合金薄膜材料，满足于核反应堆中燃料包壳膜的需求。本专利技术是本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在锆晶体表面镀锆铜非晶合金膜的方法，其特征在于包括以下步骤：（1）靶材选取以铜？锆合金靶（Zr：Cu=65:35（原子比）），或者高纯铜靶、高纯锆靶作为溅射靶，将靶材放置于磁控溅射室；？？？（2）衬底处理将锆工件表面精细抛光、置于超声波清洗器中有机溶剂清洗并晾干，将处理后的工件置于磁控溅射镀膜机中；（3）制备ZrCu非晶合金薄膜预抽真空至优于5×10？4Pa，通入高纯氩气，调节真空度至0.35Pa,开启偏压电源，偏压清洗2？10分钟，随后关闭偏压电源，开启装有靶材的溅射源，靶材到衬底的距离是80mm，预溅射2？5分钟，开启挡板，溅射温度为室温，对衬底进行循环水冷处理，关闭溅射源，锆工件表面...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨亮，黄才龙，戈涛，郭古青，孟祥飞，
申请(专利权)人：南京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：