下载一种在锆晶体表面镀锆铜非晶合金膜的方法的技术资料

文档序号:8268340

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本发明公开了一种在锆晶体表面镀锆铜非晶合金薄膜的方法,是将经过精细抛光、清洗烘干的锆工件置于磁控溅射镀膜机中,预抽真空至优于5×10-4Pa,通入高纯氩气,调节真空度至0.35Pa,开启装有锆铜合金靶、或者高纯锆靶、铜靶的溅射源,调节功率至...
该专利属于南京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京航空航天大学授权不得商用。

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