微机械陀螺仪的正交和共振频率的解耦控制方法技术

本发明专利技术涉及一种用于微机械旋转率传感器的准确测量操作的方法，所述传感器包括至少一个震动质量、用于以主要模式(q1)驱动震动质量的至少一个驱动设备、以及共同地与震动质量直接或间接地相关联的至少三个修整电极元件(1)，其中在这些独立的修整电极元件(1)中的每一个与所述震动质量之间施加电修整电压(u1,u2,u3,u4)。根据共振频率操纵变量正交操纵变量和重置变量来调节这些电修整电压(u1,u2,u3,u4)中的每一个。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种根据权利要求I前述部分的方法以及一种微机械旋转率传感器，所述微机械旋转率传感器具有共同地与第一震动质量(seismicmass)相关联的至少三个修整电极元件。
技术介绍
已知的是，用于将旋转率传感器中的震动质量抑制在一定范围的微机械弹簧已经导致在驱动模式或主要模式中的读取方向上存在由于相对较小的制造不准确性而产生的偏差，该制造不准确性使得特别是在不存在旋转率的情况下出现各自结构的不期望的边缘角。结果，产生干扰信号，该干扰信号是作为旋转率信号分量而被不期望地评估的，并且因而伪造旋转率信号或者导致与旋转率信号相关的测量误差。这类非期望的边缘角或弹簧倾斜是工艺导致的并且仅能在有限角度内避免。如上所描述的干扰信号，其并不是由于所检测的旋转率而是由于读取方向上的故障偏差(其根据驱动方向中的震动质量及其弹簧的偏差)而出现的，所述干扰信号也被称为正交或正交信号。文献W003/010492A1提出了一种用于在旋转率传感器中抑制正交信号的方法，其中所述旋转率传感器包括与震动质量相关联的两个修整电极安排，在所述方法中，通过向修整电极施加电压的方式来抑制旋转率传感器的正交。然而，这种正本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·埃格雷兹博格，A·库吉，F·迈尔，
申请(专利权)人：大陆特韦斯贸易合伙股份公司及两合公司，
类型：
国别省市：