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本发明涉及一种用于微机械旋转率传感器的准确测量操作的方法,所述传感器包括至少一个震动质量、用于以主要模式(q1)驱动震动质量的至少一个驱动设备、以及共同地与震动质量直接或间接地相关联的至少三个修整电极元件(1),其中在这些独立的修整电极元件...该专利属于大陆-特韦斯贸易合伙股份公司及两合公司所有,仅供学习研究参考,未经过大陆-特韦斯贸易合伙股份公司及两合公司授权不得商用。
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本发明涉及一种用于微机械旋转率传感器的准确测量操作的方法,所述传感器包括至少一个震动质量、用于以主要模式(q1)驱动震动质量的至少一个驱动设备、以及共同地与震动质量直接或间接地相关联的至少三个修整电极元件(1),其中在这些独立的修整电极元件...