【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种微机电陀螺仪，尤其涉及一种具有解耦特性的单结构三轴微机电陀螺仪，属于微机电系统(MEMS)领域。
技术介绍
微机电陀螺仪是基于微机电系统的惯性器件，可用来测量运动物体的角速度。和传统陀螺仪相比，微机电陀螺仪具有体积小，质量轻，价格低廉，更适合大批量生产等特点。传统陀螺仪，包括机械陀螺仪，激光陀螺仪，光纤陀螺仪等等，一直广范应用于飞行器稳定控制，武器导航制导，汽车安全等领域，由于这些陀螺仪体积大，成本高而不适合应用于消费类电子产品。近年来，随着MEMS技术的发展，微机电陀螺仪正逐渐应用于消费类电子产品，如数码相机的图像稳定，游戏机的控制手柄，手机功能控制，以及和微加速度传感器构 成的微导航仪等等。微机电陀螺仪主要由驱动部分和感应部分组成，由于其设计和制造的复杂性，目前市场上出现的多为一轴和二轴陀螺仪，三轴陀螺仪的应用一般是多个一轴或二轴陀螺仪的正交装配，或者将多个陀螺仪集成在单个芯片上，这些都达不到消费电子类产品市场追求小型化的目的。开发单结构三轴陀螺仪，已经成为微机电陀螺仪研发的重要方向。本专利技术微机电陀螺仪采用单结构设计，整体收缩一扩张的驱...
【技术保护点】
一种单结构三轴微机电陀螺仪，它包括衬底、轴结构、十字连接器和脐带，其特征在于：所述的轴结构包括xz轴结构和y轴结构，所述的xz轴结构和y轴结构在所述衬底上，所述的xz轴结构用来测量x轴角速度和z轴角速度，所述的xz轴结构由两组沿x轴对称分布的xz轴分结构组成；所述的y轴结构用来测量y轴角速度，所述的y轴结构由两组沿y轴对称分布的y轴分结构组成；所述的两组xz轴分结构和两组y轴分结构内部通过十字连接器相连，所述的两组xz轴分结构和两组y轴分结构外部通过4条脐带依次连接。
【技术特征摘要】
1.一种单结构三轴微机电陀螺仪，它包括衬底、轴结构、十字连接器和脐带，其特征在于所述的轴结构包括XZ轴结构和I轴结构，所述的XZ轴结构和y轴结构在所述衬底上，所述的XZ轴结构用来测量X轴角速度和Z轴角速度,所述的XZ轴结构由两组沿X轴对称分布的Xz轴分结构组成；所述的I轴结构用来测量I轴角速度，所述的I轴结构由两组沿y轴对称分布的I轴分结构组成；所述的两组Xz轴分结构和两组 轴分结构内部通过十字连接器相连，所述的两组Xz轴分结构和两组I轴分结构外部通过4条脐带依次连接。2.如权利要求I所述的单结构三轴微机电陀螺仪，其特征在于所述两组Xz轴分结构中的每一组XZ轴分结构均包括XZ轴质量块、XZ轴驱动结构、X轴感应结构、Z轴感应结构、Z轴反馈结构和XZ轴弹性结构，所述的XZ轴质量块悬浮于衬底上，并且通过脐带与y轴分结构相连，脐带的变形保证了各轴质量块运动的一致性；XZ轴驱动结构包括XZ轴驱动活动梳齿电极和XZ轴驱动固定梳齿电极，XZ轴驱动活动梳齿电极连接在XZ轴质量块上，XZ轴驱动固定梳齿电极固定于衬底上；所述的X轴感应结构由XZ轴质量块和X轴下极板组成，所述的X轴下极板位于水平轴质量块下方并且与水平轴质量块平行设置，所述的X轴下极板也固定在衬底上；所述Z轴感应结构由Z轴感应活动疏齿电极和Z轴感应固定疏齿电极组成，Z轴感应活动梳齿电极连接在XZ轴质量块上，Z轴感应固定梳齿电极固定于衬底上；所述Z轴反馈结构包括Z轴反馈活动电极和Z轴反馈固定电极,Z轴反馈活动梳齿电极连接在XZ轴质量块上，Z轴反馈固定梳齿电极固定于衬底上；所述的XZ轴弹性结构包括XZ轴外侧弹簧机构、XZ轴内侧弹簧机构、所述的XZ轴外侧弹簧机构共两组，均位于所述XZ轴质量块的外侧，XZ轴外侧弹簧机构的一端连接在XZ轴质量块上，另一端通...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙博华，王琳，
申请(专利权)人：鄂尔多斯市嘉美科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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