一种带排风功能的热板上下升降保护罩制造技术

本实用新型专利技术公开了一种带排风功能的热板上下升降保护罩，包括遮盖装置，其特征在于：所述遮盖装置的一侧设置有支撑导向驱动装置，遮盖装与支撑导向驱动装置活动连接。所述遮盖装置包括遮盖板，遮盖板的中心位置设置有通孔；所述遮盖板的一侧设置有支撑架，支撑架的上端安装有挡板；所述支撑架中安装有弹簧驱动装置，弹簧驱动装置连接有保护罩，保护罩与通孔相配合。所述支撑导向驱动装置包括驱动气缸，驱动气缸的动力输出端与滑块连接；所述滑块连接有滑轨，滑块上部固定安装有中心轴，中心轴的上部与遮盖板固定连接。本实用新型专利技术减少有机挥发物及热量向周围环境的排放，保护硅片和人员不受伤害，也保证了工艺环境的稳定。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

一种带排风功能的热板上下升降保护罩
本技术属于半导体加工领域，具体地说，涉及一种带排风功能的热板上下升降保护罩。
技术介绍
目前，在电子行业、航天行业等尖端行业中，对硅片的需求量大大增加，所以硅片的加工就成为一个发展迅速的行业。在加工硅片的过程中，会有一些污染产生，主要是对硅片匀胶前后的烘烤时所产生的蒸发物，蒸发物中含有带有污染性的有机物，会对环境造成污染。目前市场上应用于烘烤热板的保护罩大多为手持固定式，只是起到保护人员对硅片的影响和保护人员不受热板高温伤害的作用。硅片上方的空间大部分还是暴露在环境当中，虽然热板模块上装有排风管，但是由于空间太大，只有很少部分的蒸发物会被排风管吸走，大部分还是会排放到环境当中，对人员的健康有很大伤害，同时，蒸发物会造成工艺环境的不稳定，对娃片的加工带来一定的影响，甚至影响到娃片的质量。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服上述缺陷，提供一种结构简单、减少有机挥发物及热量向周围环境的排放、保护硅片和人员不受伤害并且保证工艺环境的稳定的带排风功能的热板上下升降保护罩。为解决上述问题，本技术所采用的技术方案是一种带排风功能的热板上下升降保护罩，包括遮盖装置，所述遮盖装置的一侧设置有支撑导向驱动装置，遮盖装置与支撑导向驱动装置活动连接。所述遮盖装置包括遮盖板，遮盖板的中心位置设置有通孔；所述遮盖板的一侧设置有支撑架，支撑架的上端安装有挡板；所述支撑架中安装有弹簧驱动装置，弹簧驱动装置连接有保护罩，保护罩与通孔相配合。所述保护罩的上端部设置有抗高温玻璃，下端的边缘位置设置有缓冲垫。所述保护罩的侧面上设置有排气管，排气管连接并贯穿保护罩；所述排气管的下部螺纹连接有竖直放置的移动排气管。更进一步地说所述弹簧驱动装置包括安装在支撑架中的固定轴，固定轴与保护罩活动连接；所述支撑架中轴连接有弹簧，弹簧的一端与保护罩连接，另一端连接有固定块。所述支撑导向驱动装置包括驱动气缸，驱动气缸的动力输出端与滑块连接；所述滑块连接有滑轨，滑块上部固定安装有中心轴，中心轴的上部与遮盖板固定连接。由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，本技术在热板工艺进行时，保护罩会在气缸的驱动下下降至最低部，将热板工艺模块完全覆盖起来，既能保护硅片不受影响和人员不受伤害，同时硅片上的有机挥发物会在几乎完全密闭的空间内从上面的排风口被抽走。在本技术中，保护罩的上方是抗高温玻璃，既减轻了整个保护罩的重量，又方便人员透过玻璃观察加热板上的情况。保护罩的升降驱动采用气缸驱动，控制方式 简单，升降速度容易控制，也降低了成本。升降动作的导向采用滑轨、滑块，安装简单，运动精度也较高。这样的设计，减少有机挥发物及热量向周围环境的排放，保护硅片和人员不受伤害，也保证了工艺环境的稳定。同时以下结合附图和具体实施方式对本技术作进一步说明。附图说明图I为本技术一种实施例的结构示意图。图中1_通孔；2_缓冲垫；3_保护罩；4_抗高温玻璃；5_排气管；6-挡板；7-支撑架；8_固定轴；9_中心轴；10_固定块；11_弹簧；12_滑块；13_驱动气缸；14_滑轨；15_移动排气管；16-遮盖板。具体实施方式实施例如图I所示，一种带排风功能的热板上下升降保护罩，包括遮盖装置，其特征在于所述遮盖装置的一侧设置有支撑导向驱动装置，遮盖装与支撑导向驱动装置活动连接。在本实施例中，所述遮盖装置包括遮盖板16，遮盖板16的中心位置设置有通孔I。 所述遮盖板16的一侧设置有支撑架7，支撑架7的上端安装有挡板6。所述支撑架7中安装有弹簧驱动装置，弹簧驱动装置连接有保护罩3，保护罩3与通孔I相配合。保护罩3的直径略大于通孔I的直径，这样才能起到封闭的作用。保护罩3的上端部设置有抗高温玻璃4，既减轻了整个装置的重量，又方便人员透过玻璃观察加热板上的情况。保护罩3的下端的边缘位置设置有缓冲垫2，在保护罩3与遮盖板16接触的时候，能够起到缓冲的作用， 防止保护罩3和遮盖板16彼此碰坏。在本实施例中，所述保护罩3的侧面上设置有排气管5，排气管5连接并贯穿保护罩3 ;所述排气管5的下部螺纹连接有竖直放置的移动排气管15。在保护罩3上下运动的时候，移动排气管15也随之上下运动。所述弹簧驱动装置包括安装在支撑架7中的固定轴8，固定轴8与保护罩3活动连接。所述支撑架7中轴连接有弹簧11。弹簧11的一端与保护罩3连接，另一端连接有固定块10。通过释放或者施加弹簧，可以使保护罩3开启或闭合，以便进行加热板维护及其他故障等处理。所述支撑导向驱动装置包括驱动气缸13，驱动气缸13的动力输出端与滑块12连接；所述滑块12连接有滑轨14，滑块12上部固定安装有中心轴9，中心轴9的上部与遮盖板16固定连接。工作时，驱动气缸13下降，带动滑块12和中心轴9下降，与中心轴连接的遮盖板 16和保护罩3下降，将热板工艺模块完全覆盖起来。再次过程中，竖直安装的排气管15也随之上降。保护罩上的排风口通过螺纹与一段直的移动排风管连接，移动排风管插入竖直安装的排风管里，保护罩升降的同时带动移动排风管升降。这种连接既能保证排风量不受影响，又不会影响保护罩的升降动作。保护罩3通过中心轴和弹簧11，在弹簧力的 作用下与支撑导向驱动装置连接，通过释放或者施加弹簧力可以使保护罩3开启或闭合，以便进行加热板维护及其他故障等处理。本技术不局限于上述最佳实施方式，任何人应该得知在本技术的启示下做出的结构变化，凡是与本技术具有相同或者相近似的技术方案，均属于本技术的保护范围。权利要求1.一种带排风功能的热板上下升降保护罩，包括遮盖装置，其特征在于所述遮盖装置的一侧设置有支撑导向驱动装置，遮盖装置与支撑导向驱动装置活动连接。2.根据权利要求I所述的带排风功能的热板上下升降保护罩，其特征在于所述遮盖装置包括遮盖板(16)，遮盖板(16)的中心位置设置有通孔(I);所述遮盖板(16)的一侧设置有支撑架(7)，支撑架(7)的上端安装有挡板￠);所述支撑架(7)中安装有弹簧驱动装置，弹簧驱动装置连接有保护罩(3)，保护罩(3)与通孔(I)相配合。3.根据权利要求2所述的带排风功能的热板上下升降保护罩，其特征在于所述保护罩(3)的上端部设置有抗高温玻璃(4)，下端的边缘位置设置有缓冲垫(2)。4.根据权利要求3所述的带排风功能的热板上下升降保护罩，其特征在于所述保护罩(3)的侧面上设置有排气管(5)，排气管(5)连接并贯穿保护罩(3);所述排气管(5)的下部螺纹连接有竖直放置的移动排气管(15)。5.根据权利要求2、3或4所述的带排风功能的热板上下升降保护罩，其特征在于所述弹簧驱动装置包括安装在支撑架(7)中的固定轴(8)，固定轴(8)与保护罩(3)活动连接；所述支撑架(7)中轴连接有弹簧(11);弹簧(11)的一端与保护罩(3)连接，另一端连接有固定块(10)。6.根据权利要求I所述的带排风功能的热板上下升降保护罩，其特征在于所述支撑导向驱动装置包括驱动气缸(13)，驱动气缸(13)的动力输出端与滑块(12)连接；所述滑块(12)连接有滑轨(14)，滑块(12)上部固定安装有中心轴(9)，中心轴(9)的上部 与遮盖板(16)固定连接。专利摘要本技术公开了一种带排风功本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带排风功能的热板上下升降保护罩，包括遮盖装置，其特征在于：所述遮盖装置的一侧设置有支撑导向驱动装置，遮盖装置与支撑导向驱动装置活动连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张军区，
申请(专利权)人：无锡亚迈微电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：