氯硅烷及高聚物泄漏的应急处理设施制造技术

一种氯硅烷及高聚物泄漏的应急处理设施，其特征是包括水洗塔（1）、水洗循环罐（2）、水洗循环泵（3）、配碱罐（4）、碱加料泵（5）、排污泵（6）、引风机（7）和排气筒（8）以及相应的物料输入输出管道，所述水洗塔（1）的顶部通过喷淋进水管连接水洗循环泵（3）的一端，水洗循环泵（3）的另一端连接水洗循环罐（2）。本实用新型专利技术装置简单，在多晶硅装置各生产单元中出现工艺物料泄漏时，及时处理泄漏物料，效果较好。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术应用于多晶硅生产领域，具体涉及ー种氯硅烷及高聚物泄漏的应急处理设施，用于处理多晶硅生产过程中出现的氯硅烷泄漏。
技术介绍
多晶硅装置中，各个单元包括三氯氢硅制备、三氯氢硅提纯、多晶硅制备、尾气回收等涉及的エ艺介质四氯化硅(STC)、三氯氢硅(SIL)、ニ氯ニ氢硅(DCS)、高聚物及上述混合物混合氯硅烷(SIL)，就其本身而言，腐蚀性较弱，所以主要设备和管道多采用碳钢材料。在温度较高的エ况时，设备和管道采用奥氏体不锈钢材料。在生产过程中，一旦发生泄漏， 上述エ艺介质遇到空气中的水分会迅速发生水解反应产生盐酸。无论对于碳钢材料的设备和管道，还是奥氏体不锈钢材料的设备和管道，包括混凝土和钢结构都会产生严重腐蚀。同时高聚物如泄漏遇空气会燃烧起火。这些对正常生产和生产安全造成极大的危害。在多晶硅生产过程中，当发生的氯硅烷及高聚物泄漏时，引入应急处理装置，可以及时有效的处理泄漏的氯硅烷及高聚物，最大程度的消除泄漏的氯硅烷及高聚物对安全生产产生的影响。
技术实现思路
本技术目的针对多晶硅生产装置中一旦产生泄漏，エ艺物料四氯化硅(STC)、三氯氢硅(SIL)、ニ氯ニ氢硅(DCS)、氯硅烷(SIL)及高聚物会水解产生盐酸和着火的问题，提供一种氯硅烷及高聚物泄漏的应急处理设施，利用负压装置将泄漏的氯硅烷及高聚物抽至水解中和系统，解决泄漏的氯硅烷水解产生的盐酸造成腐蚀和高聚物起火对多晶硅装置安全生产的危害。本技术的技术方案是一种氯硅烷及高聚物泄漏的应急处理设施，包括水洗塔I、水洗循环罐2、水洗循环泵3、配碱罐4、碱加料泵5、排污泵6、引风机7和排气筒8以及相应的物料输入输出管道，所述水洗塔I的顶部通过喷淋进水管连接水洗循环泵3的一端，水洗循环泵3的另一端连接水洗循环罐2，水洗循环罐2与水洗塔I底部连接，水洗塔I的顶部喷淋进水管还通过碱加料泵5与配碱罐4连接，水洗循环罐2的底部连接排污泵6，水洗塔I顶部连接引风机7，引风机7连接排气筒8。还包括来自各单元的泄漏物料进料管线9、碱加料管线19、补充エ艺水管线10、循环水洗进料管线18、引风管线22、排风管线23及排污管线15。水洗循环泵3可采用两台，一台工作另一台备用；碱加料泵5可采用两台，一台エ作另一台备用；引风机7可米用两台，一台工作另一台备用。利用引风机7使水洗塔I内保持微负压状态，在各生产单元的适当位置留有软管，一旦发生泄漏，将就近的软管接至泄漏处，利用负压将泄漏物料由泄漏物料进料管线9抽至水洗塔I内；循环水洗液经水洗塔I上部的循环水洗进料管线18对吸入水洗塔I内的泄漏物料进行水解；设置配碱罐4，将配好的碱液经碱加料泵5打至循环水洗进料管线18，与水洗液混和进入水洗塔1，在水解泄漏物料的同时，对水解产生的盐酸进行中和，使中和后的水洗液呈弱碱性；水洗塔I底部管线10与水洗循环罐2相连，水洗循环罐2起到水洗液缓冲罐的作用，水解中和后的水洗液经水洗循环罐2，经水洗循环泵3后，与配碱管线21补充的碱液一起打至水洗塔I的循环水洗进料管线18再次对泄漏物料进行水解；如此循环。水洗的尾气22经排气筒8和排气管线23放空。所述水洗循环罐2上设置的液位指示24与エ艺补充水管线10上的调节阀25联锁控制；配碱罐4上设置的液位指示28与碱进料管线19上的碱进料调节阀27联锁控制；在水洗循环泵3入口管线11上设置在线pH分析仪29与碱加料泵5电机连锁控制。所述水洗塔I、ー个水洗循环罐2、ー个配碱罐4、一个排气筒8材质选用导电玻璃钢；两台水洗循环栗3、两台喊加料栗计量栗5、一台排污栗6、两台引风机一用一备7材质 选用钢衬四氟。本技术的氯硅烷及高聚物泄漏的应急处理设施装置简单，主要操作參数均能通过自动控制，在多晶硅装置各生产单元中出现エ艺物料泄漏时，及时处理泄漏物料效果较好。本技术的有益效果本技术通过引风机提供负压系统将泄漏的氯硅烷抽入水洗塔中用碱性水洗液使エ艺物料水解，以消除氯硅烷泄漏与空气接触产生的盐酸造成腐蚀和高聚物与空气接触着火的危险，保证多晶硅的连续生产和安全生产。本技术结构简单，在多晶硅装置各生产单元中出现エ艺物料泄漏时，及时处理泄漏物料效果较好。附图说明图I为本技术的结构示意图。具体实施方式下面结合实施例I和附图具体说明。如图I。一种氯硅烷及高聚物泄漏的应急处理设施，其特征是包括水洗塔I、水洗循环罐2、水洗循环泵3、配碱罐4、碱加料泵5、排污泵6、引风机7和排气筒8以及相应的物料输入输出管道，所述水洗塔I的顶部通过喷淋进水管连接水洗循环泵3的一端，水洗循环泵3的另一端连接水洗循环罐2，水洗循环罐2与水洗塔I底部连接，水洗塔I的顶部喷淋进水管还通过碱加料泵5与配碱罐4连接，水洗循环罐2的底部连接排污泵6，水洗塔I顶部连接引风机7，引风机7连接排气筒8。还包括来自各单元的泄漏物料进料管线9、碱加料管线19、补充エ艺水管线10、循环水洗进料管线18、引风管线22、排风管线23及排污管线15。水洗循环泵3可采用两台，一台工作另一台备用；碱加料泵5可采用两台，一台エ作另一台备用；引风机7可米用两台，一台工作另一台备用。利用引风机7使水洗塔I内保持微负压状态，在各生产单元的适当位置留有软管，一旦发生泄漏，将就近的软管接至泄漏处，利用负压将泄漏物料由泄漏物料进料管线9抽至水洗塔I内；循环水洗液经水洗塔I上部的循环水洗进料管线18对吸入水洗塔I内的泄漏物料进行水解；设置配碱罐4，将配好的碱液经碱加料泵5打至循环水洗进料管线18，与水洗液混和进入水洗塔1，在水解泄漏物料的同时，对水解产生的盐酸进行中和，使中和后的水洗液呈弱碱性；水洗塔I底部管线10与水洗循环罐2相连，水洗循环罐2起到水洗液缓冲罐的作用，水解中和后的水洗液经水洗循环罐2，经水洗循环泵3后，与配碱管线21补充的碱液一起打至水洗塔I的循环水洗进料管线18再次对泄漏物料进行水解；如此循环。水洗的尾气22经排气筒8和排气管线23放空。水洗循环罐2上设置的液位指示24与エ艺补充水管线10上的调节阀25联锁控制；配碱罐4上设置的液位指示28与碱进料管线19上的碱进料调节阀27联锁控制；在水洗循环泵3入口管线11上设置在线pH分析仪29与碱加料泵5电机连锁控制。水洗塔I、ー个水洗循环罐2、ー个配碱罐4、一个排气筒8材质选用导电玻璃钢；两台水洗循环泵3、两台碱加料泵计量泵5、一台排污泵6、两台引风机ー用ー备 7材质选用钢衬四氟。本技术的氯硅烷及高聚物泄漏的应急处理设施装置简单，主要操作參数均能通过自动控制，在多晶硅装置各生产单元中出现エ艺物料泄漏时，及时处理泄漏物料效果较好。这套装置的主要工作过程是利用引风机7使水洗塔I内保持微负压状态，在各生产单元的适当位置留有软管，一旦发生泄漏，将就近的软管接至泄漏处，利用负压将泄漏物料由泄漏物料进料管线9抽至水洗塔I内；循环水洗液经水洗塔I上部的循环水洗进料管线18对吸入水洗塔I内的泄漏物料进行水解，水洗液进料管ロ内伸至塔内部并接有喷淋头23，提高水解效率；设置配碱罐4，将配好的碱液经碱加料泵5打至循环水洗进料管线18，与水洗液混和进入水洗塔1，在水解泄漏物料的同时，对水解产生的盐酸进行中和，使中和后的水洗液呈弱碱性；水洗塔I底部管线10与水洗循环罐2相连，水本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氯硅烷及高聚物泄漏的应急处理设施，其特征是包括水洗塔（1）、水洗循环罐（2）、水洗循环泵（3）、配碱罐（4）、碱加料泵（5）、排污泵（6）、引风机（7）和排气筒（8）以及相应的物料输入输出管道，所述水洗塔（1）的顶部通过喷淋进水管连接水洗循环泵（3）的一端，水洗循环泵（3）的另一端连接水洗循环罐（2），水洗循环罐（2）与水洗塔（1）底部连接，水洗塔（1）的顶部喷淋进水管还通过碱加料泵（5）与配碱罐（4）连接，水洗循环罐（2）的底部连接排污泵（6），水洗塔（1）顶部连接引风机（7），引风机（7）连接排气筒（8）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：康荣鑫，夏俊辉，王长乐，
申请(专利权)人：南京合创化工工程有限公司，
类型：实用新型
国别省市：