【技术实现步骤摘要】
本技术应用于多晶硅生产领域,具体涉及ー种氯硅烷及高聚物泄漏的应急处理设施,用于处理多晶硅生产过程中出现的氯硅烷泄漏。
技术介绍
多晶硅装置中,各个单元包括三氯氢硅制备、三氯氢硅提纯、多晶硅制备、尾气回收等涉及的エ艺介质四氯化硅(STC)、三氯氢硅(SIL)、ニ氯ニ氢硅(DCS)、高聚物及上述混合物混合氯硅烷(SIL),就其本身而言,腐蚀性较弱,所以主要设备和管道多采用碳钢材料。在温度较高的エ况时,设备和管道采用奥氏体不锈钢材料。在生产过程中,一旦发生泄漏, 上述エ艺介质遇到空气中的水分会迅速发生水解反应产生盐酸。无论对于碳钢材料的设备和管道,还是奥氏体不锈钢材料的设备和管道,包括混凝土和钢结构都会产生严重腐蚀。同时高聚物如泄漏遇空气会燃烧起火。这些对正常生产和生产安全造成极大的危害。在多晶硅生产过程中,当发生的氯硅烷及高聚物泄漏时,引入应急处理装置,可以及时有效的处理泄漏的氯硅烷及高聚物,最大程度的消除泄漏的氯硅烷及高聚物对安全生产产生的影响。
技术实现思路
本技术目的针对多晶硅生产装置中一旦产生泄漏,エ艺物料四氯化硅(STC)、三氯氢硅(SIL)、ニ氯ニ氢硅(DC ...
【技术保护点】
一种氯硅烷及高聚物泄漏的应急处理设施,其特征是包括水洗塔(1)、水洗循环罐(2)、水洗循环泵(3)、配碱罐(4)、碱加料泵(5)、排污泵(6)、引风机(7)和排气筒(8)以及相应的物料输入输出管道,所述水洗塔(1)的顶部通过喷淋进水管连接水洗循环泵(3)的一端,水洗循环泵(3)的另一端连接水洗循环罐(2),水洗循环罐(2)与水洗塔(1)底部连接,水洗塔(1)的顶部喷淋进水管还通过碱加料泵(5)与配碱罐(4)连接,水洗循环罐(2)的底部连接排污泵(6),水洗塔(1)顶部连接引风机(7),引风机(7)连接排气筒(8)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:康荣鑫,夏俊辉,王长乐,
申请(专利权)人:南京合创化工工程有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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