一种氯硅烷及高聚物泄漏的应急处理设施，其特征是包括水洗塔（1）、水洗循环罐（2）、水洗循环泵（3）、配碱罐（4）、碱加料泵（5）、排污泵（6）、引风机（7）和排气筒（8）以及相应的物料输入输出管道，所述水洗塔（1）的顶部通过喷淋进水管连...

一种脱除冷氢化尾气中三氯化铝重金属杂质的成套装置，其特征是所述装置包括一个淋洗塔(1)、釜液泵(4)、冷氢化尾气输入管(2)、釜液泵进口管(3)、釜液泵排出管(5)、釜液采出管(7)、冷氢化尾气输入管(2)与淋洗塔(1)内部的气体分布器...

一种CVD反应炉产高位能蒸汽系统，其特征是包括CVD反应炉(1)、空气冷却器(2)和闪蒸罐(3)，所述CVD反应炉(1)的CVD反应炉出口(7)通过高温循环水管(8)连接闪蒸罐(3)，闪蒸罐(3)顶部连接有高位能蒸汽输送管(9)，空气冷...

本实用新型公开了炭吸附净化氢气装置，该净化氢气装置为吸附塔，由下封头（4）、筒体（6）、上封头（13）构成塔体，筒体（6）下部设活性炭支承格栅（5），筒体（6）内位于下封头（4）与支承格栅（5）之间设气体分布板（3），下封头（4）上设气...

一种电子级多晶硅精馏系统四塔差压耦合蒸馏节能系统，其特征是包括第一精馏塔(C-1001)、第二精馏塔(C-1002)、第三精馏塔(C-1003)、第四精馏塔(C-1004)，其中第一精馏塔与第二精馏塔，第三精馏塔与第四精馏塔构成差压耦合...