蓝宝石研磨用浆液和蓝宝石的研磨方法技术

本发明专利技术的课题在于提供一种蓝宝石研磨用的研磨用浆液以及蓝宝石衬底的研磨方法，其中，在蓝宝石衬底研磨时，即使缩短研磨工时和研磨时间，仍可获得大于等于现有的研磨工序的研磨速度和平滑面。形成包含氧化铝磨粒、pH调节到10.0～14.0的范围内的浆液，采用该浆液，按照CMP技术对蓝宝石进行研磨。上述氧化铝磨粒特别是优选至少包含α-氧化铝，其含量特别是优选在0.01～50重量%的范围内。上述氧化铝磨粒的平均粒径优选在0.05～10μm的范围内。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及主要用于电子器件材料、光学部件、钟表、电绝缘材料、窗材等的蓝宝石表面的研磨エ序中所采用的蓝宝石研磨用浆液与蓝宝石的研磨方法。
技术介绍
近年，伴随期待下一代照明的LED的普及，用作其衬底材料的蓝宝石的需求日益増加。目前的LED的几乎大部分通过以生长于蓝宝石衬底上的GaN膜为基础的方式制造，为了将蓝宝石用作LED衬底，其表面的研磨加工是必不可少的エ序。但是，蓝宝石从化学上是非常稳定的，另外，属于莫氏(Mohs)硬度为9的极硬的原材料，由此，研磨加工困难、加工时间长，此外，为了增加其供给量，必须导入新的研磨加工设备，由此，成本高。另外，同样在当前的蓝宝石的研磨加工中，所采用的金刚石磨粒的价格高，这也是研磨的成本提高的一个原因。当务之急是即使根据LED用的蓝宝石衬底，仍降低其生产成本。为了增加蓝宝石衬底的供给量，同时降低制造成本，希望实现研磨エ时的削減、研磨时间的缩短的方面的改 兹但是，对于蓝宝石的研磨，从研磨前的状态(比如，结束SiC的研磨加工等的一次研磨エ序后的状态)起，还必须要求至少两个エ序以上的研磨エ序。即，针对结束一次研磨的蓝宝石，一般进行精加工前的研磨加工，比如本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：细井大祐，繁田岳志，
申请(专利权)人：日本百考基株式会社，
类型：
国别省市：