【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及温度测量领域，特别涉及一种。
技术介绍
红外探测器应用领域非常广阔，可以用于非接触式的温度测量，气体成分分析，无损探伤，热像检测，红外遥感以及军事目标的侦察、搜索、跟踪和通信等。热电偶测温的基本原理是两种不同成份的材质导体组成闭合回路，当两端存在温度梯度时，回路中就会有电流通过，此时两端之间就存在电动势一热电动势，这就是所谓的塞贝克效应(Seebeckeffect)。其中热电动势的大小与温度差成正相关函数关系，故可以通过检测电动势的大小来计算被测温度。实际应用中，为了获得更明显的、易检测出的电信号，通常将若干个热电偶串联，如图I (b)所不。 现有技术中，最常见的热电偶材料为两种金属的组合，例如钼铑-纯钼、镍铬-镍硅、纯铜-铜镍、铁-铜镍、镍铬-铜镍等等，以及近年来新出现了硅-金属材料的组合。由于上述材料的电阻温度系数大，导电率低，比热大，热电势与温度之间线性关系差，不够灵敏，适用温度范围狭窄等原因，限制了其在热电偶上的应用。
技术实现思路
本专利技术的目的旨在至少解决上述技术缺陷之一。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种热电偶的形成方法，该方法具有...
【技术保护点】
一种热电偶的形成方法，其特征在于，包括以下步骤：提供衬底；在所述衬底之上形成介质层；在所述介质层之上形成金属层；对所述金属层进行光刻及刻蚀处理，以形成第一压焊块、第二压焊块和热偶金属条，其中所述第二压焊块与所述热偶金属条相连；在所述介质层之上形成碳基薄膜，其中，所述碳基薄膜的一端与所述压焊块接触，另一端与所述热偶金属条接触；以及在所述第一压焊块形成第一金属接触，并在所述第二压焊块之上形成第二金属接触。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：伍晓明，肖柯，吕宏鸣，钱鹤，吴华强，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：
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