用于检测电池片刻蚀效果的测试仪制造技术

本实用新型专利技术是一种用于检测电池片刻蚀效果的测试仪，包括一电阻测量仪，还包括固定在基座上的与所述电阻测量仪电连接的一铜板；一端设有圆铜盘的一电极，该电极的另一端与所述电阻测量仪电连接，所述圆铜盘置于所述铜板的上方；和与所述电阻测量仪连接的一报警装置。所述电极的另一端插入所述电阻测量仪的插入口。所述电阻测量仪为智能型，具有显示、存储、打印或放电指示功能。本实用新型专利技术能避免漏检的发生；同时可长期保存测量数据，工作时以最快速度显示测试结果、精度高，复测性好。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于太阳能光伏电池领域，涉及一种用于检测电池片刻蚀效果的测试仪。
技术介绍
太阳能电池是应用半导体器件的光伏效应原理进行光电转换的，制造太阳能电池的主要工艺流程包括扩散工序和刻蚀工序。作为刻蚀工序的前道工序，扩散工序使高温下三氯氧磷与氧气发生反应生成单质磷，磷在高温下由于布朗分子热运动扩散到电池片里，与掺硼硅基低形成P-N结。刻蚀工序的主要目的是把电池片四周的导电扩散层去除从而达到上下电极分开的效果。目前采用等离子体完成刻蚀工序，其原理是利用高频辉光放电反 应，使反应气体(CF4、02)激活成活性粒子，这些活性粒子扩散到所需刻蚀的部位(在电场作用下到达Si02表面)并在表面上发生化学反应，在那里与被刻蚀材料进行反应，从而去除周边扩散层。刻蚀完成后，为了达到规定的刻蚀效果，一般要求电池片的周边电阻应等于或大于20ΚΩ。参看图7、图8，目前测试电池片9的刻蚀边缘电阻通常使用万用表，万用表的两根测量线91、92为细长结构，测量时为点接触。然而若电池片9 (具有未刻蚀区90)边缘大面积未被刻蚀，比较容易被测出；如果电池片9边缘只有小区域未被刻蚀，万用表很难测量出，甚至漏检。对于太阳能本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于检测电池片刻蚀效果的测试仪，包括一电阻测量仪，其特征是：还包括固定在基座上的与所述电阻测量仪电连接的一铜板；？一端设有圆铜盘的一电极，该电极的另一端与所述电阻测量仪电连接，所述圆铜盘置于所述铜板的上方；？和与所述电阻测量仪连接的一报警装置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：许盛浪，刘丽菲，
申请(专利权)人：展丰能源技术上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：