【技术实现步骤摘要】
本技术涉及ー种蓝宝石晶圆棒加工领域的装置，具体是指用于将晶圆棒毛坯中心轴与滚圆机夹持装置中心轴快速定位重合的蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置。
技术介绍
随着人们对外延芯片的需求量越来越大，对衬底用蓝宝石晶圆棒质量指标的要求也越来越高，为了提高精度，需要进ー步地减小晶圆棒毛坯中心轴与滚圆机夹持装置中心轴的同心度之差。现有技术中通常采用以下方式来减小晶圆棒毛坯中心轴与滚圆机夹持装置中心轴的同心度差先将晶圆棒毛坯夹持，然后用百分表測量同心度之差，再用敲击方式使二者中心轴逐渐靠近，然而这样的处理方式由于需要人工控制测量及敲击过程，所花费时间较 长，由于人工操作造成的同心度重复性较差，不利于批量生产，且使用敲击的方式会对晶体表面质量造成不良影响。
技术实现思路
本技术的目的在于提供ー种蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置，解决现有技术中存在的减小晶圆棒毛坯中心轴与滚圆机夹持装置中心轴的同心度差时花费时间较长，同心度重复性较差，不利于批量生产的问题。为了实现上述目的，本技术采用的技术方案如下蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置，包括晶圆棒毛坯套筒，与晶圆棒毛坯套筒中心同轴且上下相连的夹持装置套...
【技术保护点】
蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置，其特征在于，包括晶圆棒毛坯套筒（1），与晶圆棒毛坯套筒（1）中心同轴且上下相连的夹持装置套筒（2），设置于夹持装置套筒（2）上的紧固螺栓（3）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：肖兵，胡海平，张会选，程兴发，林维，叶洪君，
申请(专利权)人：四川欣蓝光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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