下载蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置的技术资料

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本实用新型公开了一种蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置,解决了现有技术中存在的减小晶圆棒毛坯中心轴与滚圆机夹持装置中心轴的同心度差的方式花费时间较长,同心度重复性较差,不利于批量生产的问题。该蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置包括晶圆棒毛坯套筒,与...
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