用于制造铁电器件的方法技术

在第二衬底的一个表面侧上形成具有预定图案的籽晶层，并且在所述第二衬底的所述一个表面侧上形成铁电层。在所述铁电层上形成下部电极，并且经由接合层来接合所述下部电极和第一衬底。从所述第二衬底的另一表面侧照射具有预定波长的激光射束以将所述铁电层的与籽晶层重叠的铁电膜以及所述籽晶层转印至所述第一衬底的所述一个表面侧上。所述激光射束是具有一波长的射束，在这里，所述射束穿透所述第二衬底、被所述籽晶层反射、并且还被所述铁电层的第二部分吸收。所述第二部分不与所述籽晶层重叠。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于制造使用铁电膜的压电效应或热电效应的铁电器件的方法。
技术介绍
通常，使用 铁电膜的压电效应或热电效应的铁电器件已经引起人们的注意。通常，作为这种类型的铁电器件的示例，已经提出了包括作为功能隔膜的铁电膜的MEMS (微机电系统)器件。作为这种类型的MEMS器件，例如，在各个研究所正在研发使用铁电膜的压电效应的发电器件和致动器以及使用的铁电膜的热电效应的诸如热电红外传感器等热电器件。此外，作为呈现出压电效应和热电效应这两者的铁电材料，例如，铅基氧化物铁电体的类型的PZT ( :Pb (Zr，Ti) O3)是众所周知的。另外，通常，作为用于制造在电极对之间具有铁电膜的MEMS器件的方法，已经提出了用于制造致动器的方法，其包括形成压电膜的步骤，所述压电膜是形成在中间转印(transfer )体上的电极上的铁电膜；经由接合层将中间转印体上的压电膜与振动结构接合在一起的步骤；以及从电极剥离中间转印体的步骤(参照专利文献I)。专利文献I描述了可以采用MgO等作为中间转印体的材料，可以采用PZT等作为压电膜的材料，并且可以采用Si等作为振动结构的材料。专利文献I还描述了采用诸如本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：松岛朝明，山内规裕，小川纯矢，相泽浩一，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：
国别省市：