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用于制造铁电器件的方法技术
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文档序号:8165924
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在第二衬底的一个表面侧上形成具有预定图案的籽晶层,并且在所述第二衬底的所述一个表面侧上形成铁电层。在所述铁电层上形成下部电极,并且经由接合层来接合所述下部电极和第一衬底。从所述第二衬底的另一表面侧照射具有预定波长的激光射束以将所述铁电层的与...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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