具备洁净室功能的手套箱及利用该手套箱的传送系统技术方案

本发明专利技术涉及一种去除氧及水分来提供清洁的工序环境的手套箱及利用该手套箱的传送系统，能够提供一种具备洁净室功能的手套箱及利用该手套箱的传送系统，上述手套箱包括：过滤机构（110），设置于在手套箱所具备的工序腔室（B）的上部及下部所设置的上部构造物（A）及下部构造物（C），使工序腔室（B）的内部空气向外部循环而过滤灰尘；静电去除机构（120），设置于上部构造物（A），去除由于灰尘产生的静电；以及腔室机构（130），为了进行工序作业而设置于工序腔室（B）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于制造半导体元件的具备洁净室功能的手套箱及利用该手套箱的传送系统。
技术介绍
众所周知，有机发光兀件(OLED:organic electro luminescent device)由平板显示元件中的一个在晶片上的阳电极层与阴电极层之间具备有机发光层，具有厚度很薄的矩阵形状。 这种有机发光元件上所形成的有机薄膜层容易与水分(H2O)及氧(O2)反应，对元件的寿命及特性产生诸多影响，因此在形成有有机发光元件的基板上通过密封盖或密封用薄膜等密封单元密封有机发光元件，从而使基板上所形成的有机发光元件的有机薄膜层与外部的水分及氧隔离而进行保护。但是，在密封有机发光元件的工序中也会从外部导入氧及水分，因此上述密封工序是在手套箱(glove box)内进行的，稳定地维持手套箱内氛围对有机发光元件的性能及产量会带来很大影响。如上所述在像有机发光元件这样的半导体元件的制造过程中所使用的手套箱包括手套箱主体、调节机构、真空泵等，手套箱主体由操作者放入手进行操作的手套及正面窗等构成，调节机构包括惰性气体及真空调节装置。上述手套箱为了执行一个工序而向腔室内部传送对象物(例如有机发光元本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：金哲永，
申请(专利权)人：莫泰克有限公司，
类型：
国别省市：