具备洁净室功能的手套箱及利用该手套箱的传送系统技术方案

本发明专利技术涉及一种去除氧及水分来提供清洁的工序环境的手套箱及利用该手套箱的传送系统，能够提供一种具备洁净室功能的手套箱及利用该手套箱的传送系统，上述手套箱包括：过滤机构（110），设置于在手套箱所具备的工序腔室（B）的上部及下部所设置的上部构造物（A）及下部构造物（C），使工序腔室（B）的内部空气向外部循环而过滤灰尘；静电去除机构（120），设置于上部构造物（A），去除由于灰尘产生的静电；以及腔室机构（130），为了进行工序作业而设置于工序腔室（B）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于制造半导体元件的具备洁净室功能的手套箱及利用该手套箱的传送系统。
技术介绍
众所周知，有机发光兀件(OLED:organic electro luminescent device)由平板显示元件中的一个在晶片上的阳电极层与阴电极层之间具备有机发光层，具有厚度很薄的矩阵形状。 这种有机发光元件上所形成的有机薄膜层容易与水分(H2O)及氧(O2)反应，对元件的寿命及特性产生诸多影响，因此在形成有有机发光元件的基板上通过密封盖或密封用薄膜等密封单元密封有机发光元件，从而使基板上所形成的有机发光元件的有机薄膜层与外部的水分及氧隔离而进行保护。但是，在密封有机发光元件的工序中也会从外部导入氧及水分，因此上述密封工序是在手套箱(glove box)内进行的，稳定地维持手套箱内氛围对有机发光元件的性能及产量会带来很大影响。如上所述在像有机发光元件这样的半导体元件的制造过程中所使用的手套箱包括手套箱主体、调节机构、真空泵等，手套箱主体由操作者放入手进行操作的手套及正面窗等构成，调节机构包括惰性气体及真空调节装置。上述手套箱为了执行一个工序而向腔室内部传送对象物(例如有机发光元件等)，通过预定的气体、压力、温度等进行设定及调节，根据需要利用手套箱通过操作者的手操作对象物。之后，若结束工序，则为了执行下一个工序而从该工序腔室向下一个工序腔室传送对象物来执行下一个工序。上述手套箱的内部可能存在污染对象物的灰尘(或粉尘)等，这会成为引起对象物的污染及相应工序产生严重错误的主要因素，由于灰尘等产生的静电存在产生更严重的错误的问题。
技术实现思路
本专利技术所要解决的课题本专利技术的目的在于提供一种具备洁净室功能的手套箱及利用该手套箱的传送系统，能够通过手套箱所具备的过滤机构使内部空气循环而过滤灰尘，具备静电防止机构，能够防止产生静电。本专利技术的目的还在于提供一种具备洁净室功能的手套箱及利用该手套箱的传送系统，延伸连接多个具备空气循环机构及静电防止机构的手套箱，能够从当前工序腔室向下一个工序腔室清洁地传送对象物。本专利技术的实施例的目的不限定于上述的目的，本领域技术人员能够根据以下记载明确理解上面未提及的其他目的。用于解决课题的手段根据本专利技术的一个方面，提供一种具备洁净室功能的手套箱，去除氧及水分来提供清洁的工序环境，包括过滤机构110，设置于在上述手套箱所具备的工序腔室B的上部及下部所设置的上部构造物A及下部构造物C，使上述工序腔室B的内部空气向外部循环而过滤灰尘；静电去除机构120，设置于上述上部构造物A，去除由于灰尘产生的静电；以及腔室机构130，为了进行工序作业而设置于上述工序腔室B。根据本专利技术的另一个方面，提供一种利用了具备洁净室功能的手套箱的传送系统，从第I工序腔室向第2工序腔室传送对象物，包括第I手套箱100a，延伸连接有多个包括过滤机构110、静电去除机构120及腔室机构130的手套箱，上述过滤机构110设置于在工序腔室B的上部及下部所设置的上部构造物A及下部构造物C，使上述工序腔室B的内部空气向外部循环而过滤灰尘，上述静电去除机构120设置于上述上部构造物A，去除由于灰尘产生的静电，上述腔室机构130为了进行工序作业而设置于上述工序腔室B，上述第I手套箱IOOa与第I工序腔室连接，传送从该第I工序腔室排出的上述对象物；第3手套箱100c，具有与上述第I手套箱IOOa相同的结构，与上述第2工序腔室连接，向上述第2工序腔室送入所传送的上述对象物；第I升降部200a，使从上述第I手套箱IOOa传送的上述对 象物上升或下降，沿同一方向传送上述对象物，或使上述对象物旋转后进行传送；第2升降部200b，具有与上述第I升降部200a相同的功能，向上述第3手套箱IOOc传送上述对象物；以及第2手套箱100b，具有与上述第I手套箱IOOa相同的结构，连接上述第I升降部200a和上述第2升降部200b而传送上述对象物。专利技术效果在本专利技术中，使手套箱的工序腔室内部空气循环，在排出箱中对灰尘进行一次去除，在送风箱中对灰尘进行二次去除，通过静电防止机构去除从灰尘产生的静电，从而实现洁净室功能，能够提供清洁的工序环境。此外，在利用了具备洁净室功能的手套箱的系统中，延伸连接多个具有灰尘过滤功能和静电去除功能的手套箱，通过升降部的上下移动及旋转移动传送对象物，从而能够维持清洁的工序环境而从第I工序腔室向第2工序腔室传送对象物。附图说明图I是本专利技术的一个实施例的具备洁净室功能的手套箱的上部立体图。图2是本专利技术的一个实施例的具备洁净室功能的手套箱的下部立体图。图3是本专利技术的一个实施例的具备洁净室功能的手套箱的剖视图。图4是例示本专利技术的一个实施例的手套箱的工序腔室所具备的底板的图。图5是本专利技术的另一个实施例的传送系统的升降部的上部立体图。图6是本专利技术的另一个实施例的传送系统的升降部的下部立体图。图7是例示本专利技术的另一个实施例的传送系统的图。标号说明100手套箱110过滤机构120静电去除机构130腔室机构200a第I升降部200b第2升降部具体实施例方式本专利技术的实施例的优点、特点及实现上述实施例的方法可参照根据附图详细说明的后述实施例得以明确。但本专利技术不限定于以下说明的实施例，可通过彼此不同的各种方式来实现，以下实施例仅用于完整地公开本专利技术，并使本领域技术人员明确专利技术的范围，本专利技术是由权利要求书来确定的。在说明书中同一参照标号表不同一结构要素。在说明本专利技术的实施例时，认为对公知功能或结构的详细说明会混淆本专利技术的要旨的情况下，省略其详细说明。此外，后述的用语是在考虑了本专利技术的实施例中的功能而定义的用语，其可根据用户、操作者的意图或习惯而有所不同。因此，应根据本说明书整体的内容来下定义。以下，参照附图详细说明本专利技术的实施例。图I是本专利技术的一个实施例的具备洁净室功能的手套箱的上部立体图，图2是本专利技术的一个实施例的具备洁净室功能的手套箱的下部立体图，图3是本专利技术的一个实施例的具备洁净室功能的手套箱的剖视图，图4是例示本专利技术的一个实施例的手套箱的工序腔室所具备的底板的图。现有的手套箱具备用于操作者用手操作的手套，还包括用于去除水分及氧的空气调节器等，但在说明本专利技术的实施例的手套箱时，不说明上述手套、水分及氧去除装置等，仅说明本专利技术的特征。当然，也可以不设置手套，即使在没有设置手套的情况下，也通常将在清洁的状态下能够执行工序作业的装置称为手套箱，因此以下命名为手套箱来进行说明。参照图I至图4，本专利技术的一个实施例的具备洁净室功能的手套箱包括过滤机构110、静电去除机构120及腔室机构130等。过滤机构110设置于手套箱所具备的工序腔室B的上部及下部所设置的上部构造 物A及下部构造物C，能够使工序腔室B的内部空气向外部循环而过滤灰尘。在此，过滤机构110可以包括送风箱111、循环配管112及排出箱113等。送风箱111在上部构造物A上成对地设置有多个送风器11 Ia和多个过滤器111b，能够从通过排出箱113 —次去除颗粒相对大的灰尘后所循环的内部空气中过滤颗粒相对小的灰尘之后送入工序腔室B。在此，过滤器Illb能够使用例如HEAP过滤器等，这种过滤器Illb设置于送风器Illa的下部而设置于与工序腔室B连接的送入口。循环配管112设置于工序腔室B的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：金哲永，
申请(专利权)人：莫泰克有限公司，
类型：
国别省市：