下载具备洁净室功能的手套箱及利用该手套箱的传送系统的技术资料

文档序号:8165831

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本发明涉及一种去除氧及水分来提供清洁的工序环境的手套箱及利用该手套箱的传送系统,能够提供一种具备洁净室功能的手套箱及利用该手套箱的传送系统,上述手套箱包括:过滤机构(110),设置于在手套箱所具备的工序腔室(B)的上部及下部所设置的上部构造...
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