氟气生成装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种氟气生成装置，其具备：与电解槽的第1气室连接、用于将氟气供给到外部装置的第1主通路；将氟气从第1气室导出并输送的第1输送设备；检测第1输送设备的上游侧的压力的第1压力检测器；用于将从第1输送设备排出的氟气返回到第1输送设备的吸入侧的第1压力调节阀；控制第1压力调节阀的开度，使得第1压力检测器的检测压力达到第1设定值的控制装置；设置在压力检测器的上游侧的起动阀；和检测阀门关闭状态下的起动阀的前后压差的压差检测器，其中在氟气生成装置起动时，控制装置改变设定值，使得起动阀的前后压差处于设定范围内，在前后压差处于设定范围内时，打开起动阀。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：八尾章史，中原启太，
申请(专利权)人：中央硝子株式会社，
类型：
国别省市：