氟气体设备制造技术

一种氟气体设备，该氟气体设备包括一个氟产生单元1，该氟产生单元被连接到一个氟供应系统2上，该氟供应系统具有一个氟使用点3；以及可连接到所述供应系统上的一个永久性储存氟的单元4，其中所述储存氟的单元包括多个空心体5，并且其中这些空心体中的至少一个具有等于或大于50升、优选等于或大于100升的内部体积。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】氟气体设备
本专利技术要求于2010年9月16日提交的欧洲专利申请号10177206.9的优先权，出于所有的目的将该申请的全部内容通过引用结合在此，并且本专利技术涉及一种氟气体设备以及一种用于供应氟气体的方法。
技术介绍
氟气体如分子氟(F2)以及其特别是与惰性气体例如N2或Ar的混合物是有用的，例如，在半导体制造过程中作为清洁气体用于对室进行处理。文件W02006/067364-A1 (与US2006/0130929相对应)在一种将高纯度的氟递送到一个处理系统的方法中披露了一种现场式氟发生器，它向一个固定的储存单元中供应高纯度的氟，从该固定的储存单元中该高纯度的氟被供应到处理系统中。为了提供向该氟发生器提供支持，还以一个相对较低的压力(典型地小于35psig)在一个可运输的气体储存容器(例如，一个多筒组合件)中提供了高纯度的氟。这种可运输的气体储存容器被选择性地连接到该固定的储存单元上，该固定的储存单元如要求的使该储存单元内的氟的量值能够维持在一个所希望的水平。
技术实现思路
现已发现一种氟气体设备，该氟气体设备允许稳定的并且经济的将要求量值的氟供应到一个使用点，同时最小化了与F2的存在相关的安全风险。本专利技术因此涉及一种氟气体设备，该氟气体设备包括一个氟产生单元1，该氟产生单元被连接到一个氟供应系统2上，该氟供应系统具有一个氟使用点3 ；以及可连接到所述供应系统上的一个永久性储存氟的单元4，其中所述储存氟的单元包括多个空心体5，并且其中这些空心体中的至少一个具有等于或大于50升、优选等于或大于100升的内部体积。优选地，这些空心体中的至少一个具有等于或大于100升的内部体积。优选地，该氟储存单元包括4至25个空心体。优选地，该氟储存单元包括5至8个空心体。优选地，该氟储存单元构造为包含或者包含处于25至75psig的压力下的氟气体。优选地，该氟储存单元构造为包含或者包含处于35至65psig的压力下的氟气体。优选地，该氟储存单元构造为包含或者包含处于40至60psig的压力下的氟气体。优选地，该氟储存单元是直接连接到氟供应管线的。优选地，该氟气体设备构造为在使用点处递送主要由分子氟组成的氟气体。优选地，该氟气体设备构造为在使用点处递送氟气体。优选地，该氟气体中的惰性气体选自氮气和氩气。优选地，该氟气体设备还包括混合器(12)。优选地，该混合器(12)为静态混合器。优选地，该混合器(12)构造为接收来自该氟产生单元(I)的氟并且接收来自惰性气体供应管线(13)的惰性气体。优选地，该氟产生单元包括电解池，该电解池用于通过熔融的电解质的电解来生产分子氟。优选地，该熔融的电解质为含KF和HF的熔融的电解质。优选地，该氟储存单元是包括在封闭的空间(8)之内的。优选地，该氟储存单元是安装在滑动器上的。优选地，该封闭的空间(8)包括氟感应器，该氟感应器构造为触发该封闭的空间与氟销毁系统(9)的连接。优选地，该封闭的空间(8)包括氟感应器，该氟感应器构造为触发该封闭的空间与涤气器的连接。优选地，该氟销毁系统构造为销毁包含在I或2个空心体内的氟。优选地,储存在该氟储存单兀内的分子氟与该氟气体设备每日分子氟生产量之比是0.1至I。优选地,储存在该氟储存单兀内的分子氟与该氟气体设备每日分子氟生产量之比是 0.1 至 0.25。优选地，该使用点连接到半导体制造设备。优选地，该使用点连接到制造光伏装置或平板显示器的半导体制造设备。优选地，该氟储存单元构造为包含或包含处于35至65psig压力下的氟气体，并且其中每个空心体具有500至3000升的内部体积。【附图说明】图1是根据本专利技术的一个氟气体设备的示意图，该氟气体设备被连接到一个氟供应系统上以及一个氟气体储存单元上，该氟气体储存单元具有(给出一个实例)6个空心体。【具体实施方式】“氟气体”被理解为具体地是指分子氟(F2)以及其特别是与惰性气体的多种混合物。惰性气体可以选自例如氩气和氮气。一种优选的氟气体由或者主要由F2组成。“永久性氟储存单元”应理解为具体地是指被整合到该氟设备中的一种氟储存单元。例如，该氟储存单元可以是一种可运输的单元，该单元是永久性地存在于该氟供应系统的附近地区中、贯穿该氟设备的操作。优选地，该氟储存单元可以是一种可运输的单元，该单元是永久性地存在于该氟供应系统的附近地区中、贯穿该氟设备的操作。因此，在氟设备的运行过程中，这种永久性氟储存单元是永久性地存在于氟供应系统的附近区域的；尽管如此，在氟设备没有运行的时间内，该永久性氟储存单元可以是与氟设备分开的，因为它是可连接到该供应系统上的，并且因此，它在氟设备没有运行的时是可拆开的。有可能在必须的情况下(例如如果存在与对应的空心体的问题时)关闭该永久性氟供应系统的一个对应的阀门或者对应的多个阀门，并且断开连接这些空心体的一个或多个而不中断该氟设备的运行。因此，这个永久性氟储存单元允许一个连续的设备运行，甚至在这些空心体的一个或多个故障的情况下。优选地，该永久性氟储存单元被设计为包含相对于储存在该设备中的氟气体的总重量的多于90wt%、更优选多于95wt%、最优选约100wt%的氟气体。因此，不必需另外的储罐。“氟供应系统”被理解为具体地是指一个元件，该元件可以包含氟并且它能够将氟从该氟产生单元传送至该使用点。氟供应系统的可能的部件包括但不限于:供应管线、压缩机、混合器、以及缓冲罐。“可连接的”应理解为具体地是指该永久性氟储存单元被装备为能够被连接到该氟供应系统的一个部件上。优选地，该永久性氟储存单元被装备得能够被连接到一个氟供应管线上。在一个优选的方面，贯穿该氟设备的运行中该氟储存单元被连接到该氟供应系统的一个部件上，特别是一条氟供应管线上。在另一个优选的方面，该氟储存单元被直接连接到该氟供应系统的一个部件上。用于连接该氟储存单元的、连接到该氟供应系统的一个部件上的、适合的装备包括一个歧管6，该歧管通过一条管线被连接到该氟储存单元的各个空心体5上并且优选在各个管线中具有一个切断阀7，以便允许单独地隔离各个空心体，并且所述歧管进一步被连接到该氟供应系统的一个部件上。在根据本专利技术的设备中，它的多个部件(假设这些部件与气体相接触，例如像，如果适当的话，多个空心体、多个阀门以及多根用于充气和/或放气的管线)是适合用耐分子氟的材料制成的或者涂覆有这种材料。此类材料的实例包括:蒙乃尔合金金属、不锈钢、铜，并且优选是，镍。在根据本专利技术的设备中，该氟储存单元优选包括从4至25个空心体，更优选从5至8个空心体。这些空心体优选具有基本上相同的形状以及尺寸。一个单独的空心体优选具有不多于这些空心体的每一者的平均体积的±5%的偏差；优选地，各个空心体具有大致相同的内部体积。圆柱形的形状的空心体是优选的。氟储存单元的这些空心体可以通过一个适当的框架而适合地固定在一起。具体的框架的几何形状包括:三角形的、正方形的、以及矩形的几何形状。优选地，这些空心体各自具有一个单组合的入口 /出口的开口，通过该开口 F2被送入到该空心体中并且被从该空心体中抽出。在根据本专利技术的氟气体设备中，该氟储存单元总体上能够包含或者包含处于至少25psig的压力下的氟气体。经常地，这个压力是等于或大于35psig,优选地等于或大于40psig。在根本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氟气体设备，包括氟产生单元（1），其特征在于：该氟产生单元被连接到氟供应系统（2），该氟供应系统具有氟的使用点（3）；以及构造为连接到所述供应系统的永久性氟储存单元（4），其中所述氟储存单元包括多个空心体（5）并且其中这些空心体中的至少一个具有等于或大于50升的内部体积。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.09.16 EP 10177206.91.一种氟气体设备，包括氟产生单元(I)，其特征在于:该氟产生单元被连接到氟供应系统(2)，该氟供应系统具有氟的使用点(3);以及构造为连接到所述供应系统的永久性氟储存单元(4)，其中所述氟储存单元包括多个空心体(5)并且其中这些空心体中的至少一个具有等于或大于50升的内部体积。2.根据权利要求1所述的氟气体设备，其中这些空心体中的至少一个具有等于或大于100升的内部体积。3.根据权利要求1所述的氟气体设备，其中该氟储存单元包括4至25个空心体。4.根据权利要求1所述的氟气体设备，其中该氟储存单元包括5至8个空心体。5.根据权利要求1至4中任一项所述的氟气体设备，其中该氟储存单元构造为包含或者包含处于25至75psig的压力下的氟气体。6.根据权利要求5所述的氟气体设备，其中该氟储存单元构造为包含或者包含处于35至65psig的压力下的氟气体。7.根据权利要求5所述的氟气体设备，其中该氟储存单元构造为包含或者包含处于40至60psig的压力下的氟气体。8.根据权利要求1至4中任一项所述的氟气体设备，其中该氟储存单元是直接连接到氟供应管线的。9.根据权利要求1至4中任一项所述的氟气体设备，该氟气体设备构造为在使用点处递送主要由分子氟组成的氟气体。10.根据权利要求1至4中任一项所述的氟气体设备，该氟气体设备构造为在使用点处递送氟气体。11.根据权利要求?ο所述的氟气体设备,其中该氟气体中的惰性气体选自氮气和IS气。12.根据权利要求10所述的氟气体设备，该氟气体设备还包括混合器(12)。13.根据权利要求12所述的氟气体设备，其中该混合器(12)为静态混合器。14....

【专利技术属性】
技术研发人员：田昊真，奥利维耶罗·黛安娜，彼得·M·普雷迪坎特，菲利普·莫雷勒，
申请(专利权)人：索尔维公司，
类型：
国别省市：