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本发明涉及一种氟气生成装置，其具备：与电解槽的第1气室连接、用于将氟气供给到外部装置的第1主通路；将氟气从第1气室导出并输送的第1输送设备；检测第1输送设备的上游侧的压力的第1压力检测器；用于将从第1输送设备排出的氟气返回到第1输送设备的吸...
该专利属于中央硝子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过中央硝子株式会社授权不得商用。

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