一种氟气产生装置，具有电解槽。在电解槽内形成电解浴。在阴极室内设置阴极，在阳极室内设置阳极。通过向阴极以及阳极之间施加电压而进行HF（氟化氢）的电解。从电解槽的阴极主要产生氢气，从阳极主要产生氟气。设置有两个用于加热填充于HF吸附塔的NaF颗粒的加热炉。在各加热炉内设置两个HF吸附塔。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：初代善夫，儿玉昌士，真锅信孝，田中则之，
申请(专利权)人：东洋炭素株式会社，
类型：发明
国别省市：
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