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一种氟气产生装置，具有电解槽。在电解槽内形成电解浴。在阴极室内设置阴极，在阳极室内设置阳极。通过向阴极以及阳极之间施加电压而进行HF（氟化氢）的电解。从电解槽的阴极主要产生氢气，从阳极主要产生氟气。设置有两个用于加热填充于HF吸附塔的NaF...
该专利属于东洋炭素株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东洋炭素株式会社授权不得商用。

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