【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及弯曲振动片及其制造方法。而且本专利技术涉及使用了该弯曲振动片的各种电子设备。
技术介绍
一直以来，在数码相机、摄像机、导航装置、车身姿态检测装置、定点设备、游戏控制器、移动电话、头戴式显示器等的各种电子设备中，为了对角速度、角加速度、加速度、力等的物理量进行检测，从而广泛地使用着利用了弯曲振动片的压电振动陀螺仪等的传感器。作为压电振动陀螺仪用的弯曲振动片，已知ー种具备相互平行的驱动用振动臂和检测用振动臂的音叉型弯曲振动片(例如，參照专利文献1、2)。·通常在音叉型弯曲振动片中，当在驱动用振动臂的激励电极上施加交流电压吋，两个振动臂将在振动片的平面内进行弯曲振动。当在这种状态下弯曲振动片绕所述振动臂的延长方向而进行旋转运动时，将产生科里奥利力，从而两个振动臂将在垂直于振动片的平面的方向上进行弯曲振动。将由此而在检测用振动臂的检测电极之间所产生的电压，作为与弯曲振动片的所述旋转运动的角加速度等对应的电气信号而进行检测。关于检测用振动臂，已知通过不仅在其的上下表面上设置检测电极，还在左右侧面上设置检测电极，从而能够高灵敏度地对通过弯曲振动片的所述旋转运动...
【技术保护点】
一种弯曲振动片，其特征在于，具备：基部；截面多边形的振动臂，其从所述基部起延伸，并具有上表面、下表面及左右侧面；电极，其分别被设置在所述振动臂的所述左右侧面上，所述振动臂的至少一个所述侧面上的所述电极，由在该振动臂的厚度方向上分离的第一电极和第二电极构成，各个所述电极被设置为，在所述振动臂沿着垂直于其上下表面的方向而进行弯曲振动时，所述第一电极和与其相对应的所述振动臂的另一个所述侧面上的所述电极之间所产生的电场的方向，与所述第二电极和与其相对应的所述振动臂的另一个所述侧面上的所述电极之间所产生的电场的方向互为相反方向，所述振动臂具有，形成在所述一个侧面和所述上表面或下表面之...
【技术特征摘要】
2011.06.24 JP 2011-1406181.一种弯曲振动片，其特征在于，具备 基部; 截面多边形的振动臂，其从所述基部起延伸，并具有上表面、下表面及左右侧面； 电极，其分别被设置在所述振动臂的所述左右侧面上， 所述振动臂的至少一个所述侧面上的所述电极，由在该振动臂的厚度方向上分离的第一电极和第二电极构成， 各个所述电极被设置为，在所述振动臂沿着垂直于其上下表面的方向而进行弯曲振动时，所述第一电极和与其相对应的所述振动臂的另一个所述侧面上的所述电极之间所产生的电场的方向，与所述第二电极和与其相对应的所述振动臂的另一个所述侧面上的所述电极之间所产生的电场的方向互为相反方向， 所述振动臂具有，形成在所述一个侧面和所述上表面或下表面之间的阶梯部，所述阶梯部由与所述一个侧面相交的阶梯面、和与所述上表面或下表面相交的阶梯侧面构成，所述第一电极和第二电极通过所述阶梯面中未形成电极膜的部分而分离，并形成在所述一个侧面和所述阶梯侧面上。2.如权利要求I所述的弯曲振动片，其特征在于， 所述振动臂的所述另一个侧面上的所述电极，由在该振动臂的厚度方向上分离的第三电极和第四电极构成， 各个所述电极被设置为，在所述振动臂沿着垂直于其上下表面的方向而进行弯曲振动时，所述第一电极和与其相对应的所述第三电极之间所产生的电场的方向，与所述第二电极和与其相对应的所述第四电极之间所产生的电场的方向互为相反方向， 所述振动臂还具有，形成在所述另一个侧面和所述上表面或下表面之间的第二阶梯部，所述第二阶梯部由与所述另一个侧面相交的第二阶梯面、和与所述上表面或下表面相交的第二阶梯侧面构成，所述第三电极和第四电极通过所述第二阶梯面中未形成电极膜的部分而分离，并形成在所述另一个侧面和所述第二阶梯侧面上。3.如权利要求I或2所述的弯曲振动片，其特征在于， 所述振动臂具有被下凹设置在所述上表面或下表...
【专利技术属性】
技术研发人员：西泽竜太，小仓诚一郎，菊池尊行，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：
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