弯曲振动片、及其制造方法以及电子设备技术

本发明专利技术提供一种弯曲振动片、及其制造方法以及电子设备，所述弯曲振动片即使小型化也能够有效地去除由振动臂的面外振动而产生的振动泄漏。具备基部(2)、一对驱动用振动臂(3a、3b)、一对检测用振动臂(4a、4b)、驱动电极及检测电极的双侧音叉型弯曲振动片(1)具有，被形成在振动臂与基部之间的结合区域上的金属材料等的调节膜(6a、6b)。调节膜被形成为，包括：被形成在驱动用振动臂与基部之间的结合部上的锥形部(5a、5b)的区域(S1)；靠近锥形部的、基部的区域(S2)以及驱动用振动臂的区域(S3)。在对当在驱动模式下激励了驱动用振动臂时由检测电极输出的检测电流进行监控的同时，所述调节膜通过激光照射等而被部分削除，从使该检测电流成为零。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ー种具有进行弯曲振动的振动臂的弯曲振动片及其制造方法。本专利技术还涉及利用了该弯曲振动片的各种电子设备。
技术介绍
一直以来，在钟表、家电制品、各种信息及通信设备、办公自动化设备等的电子设备中，作为电路的时钟源而广泛使用压电振子、搭载了压电振动片和IC芯片的振荡器、实时时钟组件等的压电器件。此外，在数码照相机、摄像机、导航装置、车身姿态检测装置、指示设备、游戏控制器、便携式电话机、头载式显示器等各种电子设备上，为了检测角速度、角加速度、加速度、力等的物理量而广泛使用利用了弯曲振动片的压电振动陀螺仪等的传感器。 作为压电振动陀螺仪用的弯曲振动片，已知ー种具备从基部平行地延伸出的ー对振动臂的音叉型弯曲振动片(例如，參照专利文献1、2)。此外，已知ー种双侧音叉型的弯曲振动片，其具备从基部向ー侧平行地延伸的一对驱动用振动臂、和向该驱动用振动臂的相反侧平行地延伸的一对检测用振动臂(例如，參照专利文献2、3)。多数的弯曲振动片例如通过对水晶等的压电单晶体材料的晶片进行光刻以加工出所需的外形，并在其表面上对电极膜进行图案形成，从而被形成。由于水晶等的压电单晶体材料具有蚀刻各向异性，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弯曲振动片的制造方法，其特征在于，包括：从晶片加工出具有弯曲振动片的外形的振动元件片的过程，所述弯曲振动片具有从基部延伸出的至少一个振动臂；在所述振动元件片的表面上，对用于激励所述振动臂的激励电极、用于使所述激励电极和外部相连接的电极衬垫及配线进行图案形成的过程；向所述振动臂与所述基部之间的结合区域附加质量、或从该结合区域中减少质量的过程。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：志村匡史，菊池尊行，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：