传感器单元制造技术

本发明专利技术提供一种传感器单元，其具有：陶瓷部件，该陶瓷部件具有第1面以及第2面，它们具有规定厚度而相对；传感器部，其安装在前述第1面侧；多个金属销，它们固定在前述第2面侧；多个内部配线，其贯穿前述陶瓷部件，将前述传感器部和前述金属销连接；以及金属部件，其形成在前述第2面侧的周端部，通过焊接与框体接合。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于过程控制中的物理量测定的传感器单元的改良。本专利技术不仅适用于压差 压力传送器的传感器单元，也有效适用于压力容器以及真空封装的设备、部件或者其装配品。本专利申请基于2011年6月23日申请的日本国专利申请第2011-139384号并主张其优先权，在此引用其内容。
技术介绍
下面引用专利、专利申请、专利公报、科学文献等，但为了充分说明本专利技术的现有技术，在此引用以上这些文献的内容。图9是表示适用于压差·压力传送器的现有的传感器单元I的结构例的剖面图。 振动式的传感器部10固定在由具有中空部的绝缘材料形成的支撑台20上。金属机身30具有第I面30a以及第2面30b，它们具有规定厚度而相对。支撑台20搭载在金属机身30的第I面30a侧。振动式压差传感器的结构和工作原理，详细公示在日本特公平8-10169号公报以及 NIKKEI ELECTR0NICS1988. 6. 27 (No. 450) P. 96 P. 97 中。在金属机身30的厚度方向上形成多个通孔30c。从金属机身30的第2面30b侧插入至该通孔30c中的金属销40，贯穿支撑台20而与传感器部10的规本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传感器单元，其具有：陶瓷部件，其具有第1面以及第2面，它们具有规定厚度而彼此相对；传感器部，其安装在前述第1面；多个金属销，它们固定在前述第2面；多个内部配线，它们贯穿前述陶瓷部件，将前述传感器部和前述金属销连接；以及金属部件，其形成在前述第2面的周端，通过焊接与框体接合。

【技术特征摘要】
2011.06.23 JP 2011-1393841.一种传感器单元，其具有 陶瓷部件，其具有第I面以及第2面，它们具有规定厚度而彼此相对； 传感器部，其安装在前述第I面； 多个金属销，它们固定在前述第2面； 多个内部配线，它们贯穿前述陶瓷部件，将前述传感器部和前述金属销连接；以及 金属部件，其形成在前述第2面的周端，通过焊接与框体接合。2.根据权利要求I所述的传感器单元，其还具有 绝缘材料罩，其在前述第I面覆盖前述传感器部，固定在前述陶瓷部件的周缘；以及 金属膜屏蔽部件，其形成于前述绝缘材料罩的内壁。3.根据权利要求I所述的传感器单元，其中，前述金属部件包括在与前述金属销相对的内周壁上形成的锥状切口部。4.根据权利要求I所述的传感器单元， 还具有第I屏蔽部件，其分别包围贯穿前述陶瓷部件的各前述内部配线而形成。5.根据权利要求4所述的传感器单元， 还具有第2屏蔽部件，其分别包围各前述金属销而形成。6.根据权利要求I所述的传感器单元， 还具有第3屏蔽部件，其包围贯穿前述陶瓷部件的前述内部配线整体而形成。7.根据权利要求4所述的传感器单元，其中 前述陶瓷部件由多层陶瓷部件形成， 前述内部配线利用前述多层陶瓷部件之间的第I贯穿配线连接， 前述第I屏蔽部件利用第2贯穿配线将在前述多层陶瓷部件上生成的环状金属印刷电路连接而形成。8.根据权利要求2所述的传感器单元，其中 在前述绝缘材料罩的内壁形成的前述金属膜屏蔽部件，延长至前述陶瓷部件的侧壁的前述第2面。...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤原秀树，大岛明浩，森川智隆，
申请(专利权)人：横河电机株式会社，
类型：发明
国别省市：