一种新型的高精度自动补液系统装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种新型的高精度自动补液系统装置。普通的补液系统通过流量和时间来控制药液补加量，流量的波动会引起药液补加量的误差，本实用新型专利技术补液系统装置在液位管上中的液位管贴上刻度并增加补液液位感应器，还去除了补液气动阀中的截留片，解决了通过流量和时间来控制补液量而受到流量波动影响；使得补液系统在补液过程中更加高效率与高精度。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术应用于晶体硅太阳能电池片制程中，涉及硅片的化学腐蚀清洗机台的自动补液系统，特别是一种新型的高精度自动补液系统装置。
技术介绍
目前，晶体硅太阳能电池制程中硅片的化学腐蚀清洗机台的自动补液如图I是通过气动阀控制截留片来控制流量，再通过补液时间来确定补液的量，补液量=流量*时间，其中“流量”为新设备安装时测试值，后续默认为固定值，通过设定补液时间，来控制补 液量。但由于截留片孔径约为3_很小易堵塞，气动阀气压影响气动阀打开程度及液体压力等因素影响了补液流量，所以补液量会产生波动，影响补液精度，导致制程异常。并且管道中均是高浓度的HN03、HF等高危化学品，如果截留片堵塞，拆除清洗或更换时也存在安全隐患。目前补加O. 5L耗时需要60s左右，如果药液补加量较大时，由于孔径小，耗时较长，更不能实现快速补液。
技术实现思路
本技术提供一种通过对自动补液系统中液位管贴上刻度并增加了补液液位感应器，从而达到补液系统的高精度与高效率的高精度自动补液系统装置。本技术的技术方案是一种新型的高精度自动补液系统装置，其中槽体通过管道与补液气动阀连接，补液气动阀通过管道与药液盒连接，液位管设在药液盒上并与本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型的高精度自动补液系统装置，其特征在于：槽体（1）通过管道与补液气动阀（2）连接，补液气动阀（2）通过管道与药液盒（3）连接，液位管（4）设在药液盒（3）上并与药液盒（3）连通，液位管（4）靠近底部设有低液位感应器（5），补液液位感应器（6）位于低液位感应器（5）之上，工作液位感应器（7）位于补液液位感应器（6）之上，高液位感应器（8）位于工作液位感应器（7）之上，药液盒（3）通过管道与进液气动阀（9）连接。

【技术特征摘要】
1.一种新型的高精度自动补液系统装置，其特征在于槽体(I)通过管道与补液气动阀(2 )连接，补液气动阀(2 )通过管道与药液盒(3 )连接，液位管(4)设在药液盒(3 )上并与药液盒(3 )连通，液位管(4)靠近底部...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳杉，黄治国，王鹏，梅超，包兵兵，
申请(专利权)人：上饶光电高科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：