【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种全自动化SE电池量产腐蚀装置,属于光伏
技术介绍
目前,制绒是对硅片表面进行各向同性腐蚀,形成微沟,降低硅片表面的反射率,促使太阳在硅片表面进行多级反射,提升光的利用率。在太阳能晶硅电池的制备工艺中,制绒工艺是关系到太阳能电池表面的光吸收的重要部分,也是提高太阳能电池转换效率的重要途径之一。在制绒工艺中,酸制绒处理设备是很重要的一部份,现有制绒处理设备是由处理 槽(含内、外槽)和循环储存罐(处理液用)所构成。但存在以下几个问题I :酸制绒处理设备的基板表面的要求是刻蚀中要确保被处理物的表面温度和浓度要均匀。在处理大量的被处理物时,要确保所有表面整体的温度、浓度达到均匀性是很难做到的。2 :将大量的被处理物一次性放入处理槽中处理时,按现有的方法(槽的构造也仅是从槽底部的注入到槽上部的溢流)即使没有强烈的反应热的发生,基板的上下温度差和浓度差也是必然要发生的,为此很难保证被处理物处理完毕后表面的均一性,并且如何提高刻蚀后的表面精度也是很困难的问题。3 :为改善浓度及温度不均匀的问题,如果仅仅将循环流量大幅度的增加,会带来上部液面极端上升的问题 ...
【技术保护点】
一种全自动化SE电池量产腐蚀装置,其特征在于自动上料装置或自动下料装置、慢提拉槽、第一喷淋槽、第一超声波清洗槽、第二超声波清洗槽、第二喷淋槽、第一碱洗槽、第三喷淋槽、第二碱洗槽、QDR槽、第一酸腐蚀槽、第二酸腐蚀槽、自动上料装置或自动下料装置依次顺序排列和连接。
【技术特征摘要】
1.ー种全自动化SE电池量产腐蚀装置,其特征在于自动上料装置或自动下料装置、慢提拉槽、第一喷淋槽、第一超声波清洗槽、第二超声波清洗槽...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙良欣,夏文斌,刘小龙,
申请(专利权)人:吉阳设备海安有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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