一种防砂浆飞溅装置制造方法及图纸

技术编号:8114414 阅读:161 留言:0更新日期:2012-12-22 03:22
本实用新型专利技术公布了一种防砂浆飞溅装置,其特征在于:所述防砂浆飞溅装置用于防止粘结有硅棒的晶托在切割时受到砂浆的污染,其包括折板和挡板,所述折板设置在所述晶托两侧,所述挡板倾斜设置在晶托上部两侧。优选的:所述折板靠近晶托端设置有橡胶板,所述橡胶板与晶托侧边相接。所述挡板通过其上部的定位螺栓固定,以便于快速拆卸。本实用新型专利技术能够使在硅切割过程中晶托工作区域无大量砂浆残留,清扫方便省时,而且减少了后续工序清洗晶托的用水量,清洗时间。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种硅切割过程中,防止切割砂浆飞溅污染晶托的防砂浆飞溅装置
技术介绍
硅片切割时,需要将硅棒粘结在晶托上,利用砂浆进行切割。切割时砂浆飞溅对晶托造成污染,切割完成后需要对晶托进行清洗,费水和费时;工作区也会有大量砂浆残 &3甶O
技术实现思路
本技术目的在于针对现有技术的缺陷提供一种防止切割时砂浆飞溅污染晶托的防砂浆飞溅装置。本技术为实现上述目的,采用如下技术方案一种防砂浆飞溅装置,其特征在于所述防砂浆飞溅装置用于防止粘结有硅棒的晶托在切割时受到砂浆的污染,其包括折板和挡板,所述折板设置在所述晶托两侧,所述挡板倾斜设置在晶托上部两侧。优选的所述折板靠近晶托端设置有橡胶板,所述橡胶板与晶托侧边相接。所述挡板通过其上部的定位螺栓固定,以便于快速拆卸。本技术能够使在硅切割过程中晶托工作区域无大量砂浆残留,清扫方便省时,而且.减少了后续工序清洗晶托的用水量,清洗时间(每板料节省O. 5吨水,省时6min)。附图说明图I为本技术示意图;图中,I、晶托;2、折板;3、挡板;4、橡胶板。具体实施方式如图I所示一种防砂浆飞溅装置,所述防砂浆飞溅装置用于防止粘结有硅棒的晶托I在切割时受到砂浆的污染,其包括折板2和挡板3,所述折板2设置在所述晶托I两侧,所述挡板3倾斜设置在晶托I上部两侧。所述折板2靠近晶托I端设置有橡胶板4,所述橡胶板4与晶托I侧边相接。所述挡板3通过其上部的定位螺栓固定,以便于快速拆卸。

【技术保护点】
一种防砂浆飞溅装置,其特征在于:所述防砂浆飞溅装置用于防止粘结有硅棒的晶托在切割时受到砂浆的污染,其包括折板和挡板,所述折板设置在所述晶托两侧,所述挡板倾斜设置在晶托上部两侧。

【技术特征摘要】
1.一种防砂浆飞溅装置,其特征在于所述防砂浆飞溅装置用于防止粘结有硅棒的晶托在切割时受到砂浆的污染,其包括折板和挡板,所述折板设置在所述晶托两侧,所述挡板倾斜设置在晶托上部两侧。2.根据权利要求I...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘爱军胥大鹏陈新军何江涛李晓建
申请(专利权)人:无锡隆基硅材料有限公司西安隆基硅材料股份有限公司宁夏隆基硅材料有限公司银川隆基硅材料有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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