真空系统用的真空插板阀技术方案

本实用新型专利技术公开一种真空系统用的真空插板阀，包括驱动元件、阀体、阀芯和下清洁盖板，阀体为中空的长方体结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔，阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯设于阀体内部，驱动元件末端穿过阀体顶部并与阀芯顶部固定连接，下清洁盖板设于阀体底部。本真空插板阀有效克服传统真空插板阀占用空间大的缺陷，其密封效果好，阀芯结构也较为稳固，不易变形；同时，本真空插板阀设于相邻两个真空室之间，即设于真空室外部，其加工及日常维护都较为方便。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及玻璃真空镀膜
，特别涉及一种真空系统用的真空插板阀。
技术介绍
用于玻璃镀膜工艺的真空设备中，真空插板阀是任意两个相邻真空室之间必不可少的组成部件，其作用是当需要对单个真空室进行维护或者在单个真空室内更换材料时，将相邻两个真空室隔绝，使真空室内的真空气氛不被破坏。目前常用的真空插板阀为翻板式结构，即在真空室内的工件通孔处设置真空插板阀，该真空插板阀主要为一个挡板，挡板顶部与真空室内的顶面铰接，当真空插板阀关闭时，挡板下翻，其侧面挡住工件通孔而实现密封，当真空插板阀打开时，挡板贴紧于真空室内的顶面。然而，该结构的真空插板阀由于挡板采用翻转式，所占的空间较大，真空插板阀关闭时由于挡板靠自重挡住工件通孔，挡板 底部没有相应的固定机构，其密封效果不好；另外，该结构的真空插板阀必须设于真空室内部，其加工难度大，挡板易变形，日常的维护也相当困难。为此，申请号为200610169213. 2的专利技术申请公开了一种摆阀和滑门真空阀，该结构的真空阀克服了传统真空插板阀气密性差的缺陷，但其结构复杂，各组成部件之间精度要求较高，因此其成本也较高。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的不足，针对工件通孔口径较小的真空室，提供一种密封性好、所占空间小、加工和日常维护都较方便的真空系统用的真空插板阀。本技术的技术方案为一种真空系统用的真空插板阀，包括驱动元件、阀体、阀芯和下清洁盖板，阀体为中空的长方体结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔，阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯设于阀体内部，驱动元件末端穿过阀体顶部并与阀芯顶部固定连接，下清洁盖板设于阀体底部。所述驱动元件与阀体顶部相接处设有密封件，可有效提高驱动元件运行的可靠性和阀体内部的密封性。根据实际需要，阀芯及阀体中部空间的结构形式主要有2种(I)所述阀芯为四棱柱结构，阀芯的径向截面为第一梯形，阀芯位于第一梯形长底边的侧面为第一侧面，阀芯位于第一梯形短底边的侧面为第二侧面，阀芯位于第一梯形两侧腰上的两侧面分别为第三侧面和第四侧面，第一侧面向上并与驱动元件末端固定连接，第二侧面向下，第三侧面和第四侧面分别位于左右两侧；阀体中部空间的径向截面为长方形和第二梯形组成的六边形，长方形位于上部，第二梯形位于下部，第二梯形各边尺寸与第一梯形各边尺寸相同；阀芯下落至底部时，阀芯的第三侧面和第四侧面分别贴紧于阀体的内侧面；阀体的底部开有阀底通孔，阀底通孔的宽度与第一梯形短底边的长度相等；下清洁盖板设于阀底通孔下方。所述阀芯的第三侧面和第四侧面上还分别开有设置密封圈用的密封槽，在阀芯和阀体之间增设密封圈，可更好地提高其密封效果。(2)所述阀芯为三棱柱结构，三棱柱的径向截面为倒三角形，阀芯顶面与驱动元件末端固定连接；阀芯下落至底部时，阀芯的两侧面分别贴紧于阀体的内侧面；阀体的底部开有阀底通孔，下清洁盖板设于阀底通孔下方。所述阀芯的两侧面上还分别开有设置密封圈用的密封槽，在阀芯和阀体之间增设密封圈，可更好地提高其密封效果。所述驱动元件为气缸、电机或液压传动件。本真空系统用的真空插板阀使用时，其原理是当需要关闭真空插板阀时，驱动元件运行，其末端带动阀芯在阀体中部空间内向下运动，阀芯下落至底部时，阀芯的左右两侧面贴紧于阀体的内侧面，此时将阀体左右两侧壁上的阀体通孔隔开，从而挡住阀体左右两侧真空室上的工件通孔，达到密封的目的；当需要打开真空阀插板时，驱动元件运行，其末端带动阀芯在阀体中部空间内向上运动，阀芯上升到其末端高于阀体通孔所处的位置即可。本技术相对于现有技术，具有以下有益效果本真空系统用的真空插板阀采用驱动元件带动阀芯上下运动实现其启闭，可有效克服传统真空插板阀占用空间大的缺陷。同时，本真空插板阀关闭后，由于阀芯下部为锥形或接近锥形的结构，所以阀芯下落后可贴紧于阀体的内侧壁，其密封效果好，阀芯结构也较为稳固，不易变形。本真空系统用的真空插板阀设于相邻两个真空室之间，即设于真空室外部，其加工及日常维护都较为方便。另外，本真空系统用的真空插板阀还具有以下优点结构简单、加工制造容易，可靠性比翻板阀大为提高；同时，密封效果更好，也更加耐用，维护间隔时间长。附图说明图I为本真空插板阀的结构示意图。图2为图I的A向视图。图3为图I的B向视图。具体实施方式下面结合实施例及附图，对本技术作进一步的详细说明，但本技术的实施方式不限于此。实施例I本实施例一种真空系统用的真空插板阀，其结构如图I 3所示，包括气缸I、阀体3、阀芯4和下清洁盖板5，阀体3为中空的长方体结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔6，阀体通孔6与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯6设于阀体3内部，气缸I末端穿过阀体3顶部并与阀芯4顶部固定连接，下清洁盖板5设于阀体3底部。气缸I与阀体3顶部相接处设有密封件2，可有效提高气缸运行的可靠性和阀体内部的密封性。如图I所示，阀芯4为四棱柱结构，阀芯的径向截面为第一梯形，阀芯位于第一梯形长底边的侧面为第一侧面7，阀芯位于第一梯形短底边的侧面为第二侧面8，阀芯位于第一梯形两侧腰上的两侧面分别为第三侧面9和第四侧面10,第一侧面7向上并与气缸I末端固定连接，第二侧面8向下，第三侧面9和第四侧面10分别位于左右两侧；阀体3中部空间的径向截面为长方形和第二梯形组成的六边形，长方形位于上部，第二梯形位于下部，第二梯形各边尺寸与第一梯形各边尺寸相同；阀芯4下落至底部时，阀芯的第三侧面9和第四侧面10分别贴紧于阀体3的内侧 面；阀体4的底部开有阀底通孔11，阀底通孔11的宽度与第一梯形短底边的长度相等;下清洁盖板5设于阀底通孔11下方。阀芯的第三侧面9和第四侧面10上还分别开有设置密封圈用的密封槽，在阀芯和阀体之间增设密封圈，可更好地提高其密封效果。本真空系统用的真空插板阀使用时，其原理是当需要关闭真空插板阀时，气缸I运行，其末端带动阀芯4在阀体3中部空间内向下运动，阀芯4下落至底部时，阀芯4的左右两侧面贴紧于阀体3的内侧面，此时将阀体3左右两侧壁上的阀体通孔6隔开，从而挡住阀体左右两侧真空室上的工件通孔，达到密封的目的；当需要打开真空阀插板时，气缸I运行，其末端带动阀芯4在阀体3中部空间内向上运动，阀芯4上升到其末端高于阀体通孔6所处的位置即可。实施例2本实施例一种真空系统用的真空插板阀，与实施例I相比较，其不同之处在于，阀芯为三棱柱结构，三棱柱的径向截面为倒三角形，阀芯顶面与气缸末端固定连接；阀芯下落至底部时，阀芯的两侧面分别贴紧于阀体的内侧面；阀体的底部开有阀底通孔，下清洁盖板设于阀底通孔下方。阀芯的两侧面上还分别开有设置密封圈用的密封槽，在阀芯和阀体之间增设密封圈，可更好地提高其密封效果。如上所述，便可较好地实现本技术，上述实施例仅为本技术的较佳实施例，并非用来限定本技术的实施范围；即凡依本
技术实现思路
所作的均等变化与修饰，都为本技术权利要求所要求保护的范围所涵盖。本文档来自技高网...

【技术保护点】
真空系统用的真空插板阀，其特征在于，包括驱动元件、阀体、阀芯和下清洁盖板，阀体为中空的长方体结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔，阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯设于阀体内部，驱动元件末端穿过阀体顶部并与阀芯顶部固定连接，下清洁盖板设于阀体底部。

【技术特征摘要】
1.真空系统用的真空插板阀，其特征在于，包括驱动元件、阀体、阀芯和下清洁盖板，阀体为中空的长方体结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔，阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯设于阀体内部，驱动元件末端穿过阀体顶部并与阀芯顶部固定连接，下清洁盖板设于阀体底部。2.根据权利要求I所述真空系统用的真空插板阀，其特征在于，所述驱动元件与阀体顶部相接处设有密封件。3.根据权利要求I所述真空系统用的真空插板阀，其特征在于，所述阀芯为四棱柱结构，阀芯的径向截面为第一梯形，阀芯位于第一梯形长底边的侧面为第一侧面，阀芯位于第一梯形短底边的侧面为第二侧面，阀芯位于第一梯形两侧腰上的两侧面分别为第三侧面和第四侧面，第一侧面向上并与驱动元件末端固定连接，第二侧面向下，第三侧面和第四侧面分别位于左右两侧； 阀体中部空间的径向截面为长方形和第二梯形组成的六边形，长方形...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱刚劲，朱刚毅，朱文廓，
申请(专利权)人：肇庆市腾胜真空技术工程有限公司，
类型：实用新型
国别省市：