吸盘、吸盘系统及具有该吸盘的传输系统技术方案

本发明专利技术提出一种吸盘，包括：吸盘本体，具有多个出气孔，多个出气孔与第一气体通路相连，用于向外排出第一气体通路中的由第一气源所提供的气体；和围绕吸盘本体均匀分布的多个真空吸盘，多个真空吸盘与第二气体通路相连，所述多个真空吸盘用于在放置晶片时向外排出所述第二气体通路中的由所述第一气源所提供的气体、以及用于在吸取晶片时通过所述第二气体通路与真空源相连以产生真空吸力。本发明专利技术还提出一种具有上述吸盘的吸盘系统、及具有上述吸盘系统的传输系统。应用本发明专利技术的传输系统，能够显著提高吸盘吸放电池片速度、减轻吸盘重量及提高传输效率，此外，还具有控制吸放的能力，降低碎片率，降低设备成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微电子
，特别涉及一种吸盘、吸盘系统及具有该吸盘的传输系统。
技术介绍
太阳能平板式等离子增强型化学气象沉积(PECVD)设备中，电池片(晶片)的载具为一石墨载板，在石墨载板上摆放多个电池片同时进行工艺时，为防止电池片滑动，可在石墨载板上设置多个小格，然后将电池片摆放在这些规划好的小格内。但是，由于石墨载板进行工艺后通常出现变形，导致普通的自动化设备无法将电池片准确地从小格内取放，因此，通常采用机械手从小格内对电池片进行取放。该机械手通过机械手臂一端安装的吸盘对电池片进行吸放。现有技术的缺点是吸盘结构复杂且碎片率高，因此亟待改进。
技术实现思路
本专利技术的目的旨在至少解决上述技术缺陷之一。为此，本专利技术的目的在于提出一种能够快速吸放吸片、有效防止吸片破碎且轻巧的吸盘。本专利技术的另一目的在于提出一种具有上述吸盘的吸盘系统。本专利技术的再一目的在于提出一种具有上述吸盘系统的传输系统。为了实现上述目的，本专利技术第一方面实施例提出的吸盘，包括吸盘本体，所述吸盘本体具有多个出气孔，所述多个出气孔与第一气体通路相连，所述多个出气孔用于在放置晶片时向外排出第一气体通路中的由第一气源所提供的气体；和围绕所述吸盘本体均匀 分布的多个真空吸盘，其中，所述多个真空吸盘的吸附面位于同一平面，且所述多个真空吸盘与第二气体通路相连，所述多个真空吸盘用于在放置晶片时向外排出所述第二气体通路中的由所述第一气源所提供的气体、以及用于在吸取晶片时通过所述第二气体通路与真空源相连以产生真空吸力。本专利技术实施例的吸盘结构简单。本专利技术实施例通过一种气体通过第一气体通路向吸盘本体的多个出气孔外吹气，通过第二气体通路向真空吸盘内通入真空，以使真空吸盘吸片，通过第二气体通路向真空吸盘内通入其它气体，例如无尘干燥气体或，以使真空吸盘放片，从而达到快速吸放片的目的。在本专利技术的一个实施例中，每个所述真空吸盘分别通过连接杆与所述吸盘本体相连，其中，所述连接杆的一端设有所述真空吸盘，所述连接杆的另一端与所述吸盘本体相连。在本专利技术的一个实施例中，所述吸盘还包括匀流罩，所述匀流罩与所述吸盘本体限定有匀流腔，所述匀流腔与所述多个出气孔相通，且所述匀流腔与第一气体通路相连。在本专利技术的一个实施例中，所述第一气源为无尘干燥气源，且所述第一气体为无尘干燥气体。在本专利技术的一个实施例中，所述真空吸盘为风琴式吸盘。当所述风琴式吸盘通过所述第二气体通路与所述真空源相连且吸取晶片时，所述风琴式吸盘收缩以使所述晶片与所述吸盘本体的下表面贴合。这样，本专利技术在吸盘吸取了晶片时由于晶片与吸盘本体之间贴合从而产生摩擦力，这样在吸取晶片后的运输过程中晶片不会被甩出去，从而进一步降低晶片的碎片率。优选地，所述吸盘本体的表面设有防滑胶，防滑胶不仅可以增大晶片与吸盘本体之间的摩擦力，另外由于防滑胶的弹性也可以防止晶片与吸盘本体之间碰撞产生碎片的可能。本专利技术第二方面实施例提出的吸盘系统，包括第一气源和第二气源，所述第一气源用于提供卸载被吸附晶片的气体，且第二气源用于抽真空以产生对晶片的真空吸力；第一开关和第二开关，所述第一开关与所述第一气源相连，所述第二开关分别与所述第一气 源和所述第二气源相连；吸盘，所述吸盘为上述实施例的吸盘，其中，所述吸盘的第一气体通路与所述第一开关相连，所述吸盘的第二气体通路与所述第二开关相连；驱动器，所述驱动器与所述吸盘相连，所述驱动器用于驱动所述吸盘运动；和控制器，所述控制器对所述第一开关、第二开关和驱动器进行控制以取放晶片。根据本专利技术实施例的吸盘系统，在吸盘吸片过程中，控制器控制第一开关关闭第一气源向吸盘本体的出气孔向外排气，同时控制第二开关切换以使第二气源通入吸盘的真空吸盘内，从而由于真空的作用，驱动装置驱动吸盘靠近吸片，吸片被吸附在真空吸盘的表面，而达到吸盘的自动吸片。另外，在吸盘放片过程中，控制器控制第一开关开启第一气源向吸盘本体的出气孔向外排气，同时控制第二开关切换以使第一气源通入吸盘的真空吸盘内，从而在第一气源、吸盘重力的作用下，驱动装置驱动吸盘上移以使吸片脱离吸盘，而达到吸盘的自动放片。在本专利技术的一个实施例中，所述第一气源为无尘干燥气源，所述第二气源为真空源。在本专利技术的一个实施例中，所述第二开关为两位三通电磁阀，所述第二开关的两个输入端分别与所述第一气源和所述第二气源相连。在本专利技术的一个实施例中，所述吸盘系统还包括连接在所述第一气体通路和所述第一开关之间的调速阀，所述调速阀用于调整从所述第一气源流入所述第一气体通路的流量。在本专利技术的一个实施例中，所述吸盘系统还包括连接在所述第二气体通路和所述第二开关之间的真空压力传感器，所述真空压力传感器用于检测所述第二气体通路的真空压力并反馈给所述控制器。在本专利技术的一个实施例中，当吸取晶片时，所述控制器控制所述第一开关关闭，并控制所述第二开关的阀位以使所述真空源与所述第二气体通路相连以使所述多个真空吸盘的吸附面处产生真空吸力，且所述控制器通过控制所述驱动器驱动所述多个真空吸盘下降以使所述多个真空吸盘与所述晶片接触并将所述晶片吸住，所述控制器通过所述驱动器驱动所述吸盘提升并移动至预定位置。在本专利技术的一个实施例中，当放置晶片时，所述控制器控制所述第一开关并开启，控制所述第二开关的阀位以使所述无尘干燥气源与所述第二气体通路相连以使所述多个真空吸盘的吸附面处失去真空吸力。本专利技术第三面的实施例提出的传输系统，包括相互平行设置的第一电动缸和第二电动缸；横梁，所述横梁的第一端设置在所述第一电动缸之上，所述横梁的第二端设置在所述第二电动缸之上，所述横梁分别与所述第一电动缸和第二电动缸垂直；第一电机和第二电机，所述第一电机用于驱动所述横梁的第一端在所述第一电动缸上移动，所述第二电机驱动所述横梁的第二端在所述第二电动缸上移动；和一个或多个上述实施例的吸盘，所述一个或多个吸盘吊装在所述横梁之上。根据本专利技术实施例的传输系统，第一电机和第二电机分别驱动横梁的两端在第一电动缸和第二电动缸上移动，从而带动吊装在上述衡量之上的吸盘随之移动，把吸盘吸片移动到相应的位置。本专利技术附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。 附图说明本专利技术上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中图I为本专利技术实施例的吸盘的纵向剖视图；图2为本专利技术实施例的吸盘本体的横向剖视图；图3A为本专利技术实施例的吸盘本体的气动原理图；图3B为本专利技术实施例的真空吸盘的气动原理图；以及图4为本专利技术实施例的传输系统的结构图。具体实施例方式下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能解释为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底” “内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种吸盘，其特征在于，包括：吸盘本体，所述吸盘本体具有多个出气孔，所述多个出气孔与第一气体通路相连，所述多个出气孔用于在放置晶片时向外排出第一气体通路中的由第一气源所提供的气体；和围绕所述吸盘本体均匀分布的多个真空吸盘，其中，所述多个真空吸盘的吸附面位于同一平面，且所述多个真空吸盘与第二气体通路相连，所述多个真空吸盘用于在放置晶片时向外排出所述第二气体通路中的由所述第一气源所提供的气体、以及用于在吸取晶片时通过所述第二气体通路与真空源相连以产生真空吸力。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：付金生，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：