曝光对位方法技术

技术编号:7917181 阅读:203 留言:0更新日期:2012-10-25 02:04
本发明专利技术涉及机械领域,具体为一种曝光对位方法。该方法适用于曝光机,包括:A.根据放入晒架的上底片和下底片的位置,确定上底片、下底片之间的第一位置偏差;B.由第一位置偏差确定底片移动值,根据底片移动值,以上底片和下底片其中之一为基准驱动另一个至上底片、下底片对位;C.将上底片、下底片进行位置锁定;D.根据放入被位置锁定的所述上底片和所述下底片之间的所述覆铜箔板的位置,确定覆铜箔板与上底片或下底片之间的第二位置偏差;E.由第二位置偏差确定覆铜箔板移动值,根据覆铜箔板移动值,以上底片或下底片为基准驱动覆铜箔板至覆铜箔板与底片对位。本发明专利技术实现高效、准确底片对位和覆铜箔板对位。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及机械领域,具体涉及一种。
技术介绍
(PCB板)制造工艺中,最关键的工序之一就是将底片图像转移到覆铜箔基材上。为了导线的连通,PCB板的上下图形必须有准确的位置关系,要求上下底片和PCB板三者间互相对位。它们的对位精度、速度决定了 PCB板的生产精度和效率。现有晒架中,每个晒架上有两个夹持覆铜箔板的PIN。对位系统控制两个PIN在X、Y方向移动。晒架对位时,先把上下底片和覆铜箔板重叠后套入晒架PIN上,操作者通过显视器把上下底片和覆铜箔板三者的点圈孔位置同心,关闭上盖将上底片吸附于上玻璃。 打开上盖,把覆铜箔板板取出,把底片托板放置在下底片上,用透明胶带把下底片和托板粘接成一体,关闭上盖,托板带着下底片与上底片对位,当上下底片的靶点偏差满足要求时,下玻璃开启真空吸附下底片。去除胶带,取出托板,完成上下底片的对位。晒架在生产过程中,上下底片不可移动对位,靠晒架上的定位销来保证上下底片的重复精度。两个PIN夹持覆铜箔板移动,完成和上下底片的对位功能。底片装载程序复杂,对位精度低。
技术实现思路
本专利技术提供一种,能够提高底片对位和覆铜箔板对位的效率。本专利技术提供了一种,适用于曝光机,包括如下步骤A.根据放入晒架中的上底片和下底片的位置,确定所述上底片、下底片之间的第一位置偏差;B.由所述第一位置偏差确定底片移动值,根据所述底片移动值,以所述上底片和所述下底片其中之一为基准,驱动另一个至所述上底片、所述下底片对位;C.在所述上底片、所述下底片对位结束后,将所述上底片、所述下底片进行位置锁定;D.根据放入被位置锁定的所述上底片和所述下底片之间的所述覆铜箔板的位置,确定所述覆铜箔板与所述上底片或所述下底片之间的第二位置偏差;E.由所述第二位置偏差确定覆铜箔板移动值,根据所述覆铜箔板移动值,以所述上底片或所述下底片为基准,驱动所述覆铜箔板至所述覆铜箔板与所述上底片、所述下底片对位。在步骤A之前,所述优选为进一步包括在所述晒架上设置覆铜箔板驱动设备;在所述晒架上设置底片驱动设备;则,在步骤B中驱动的动力优选为来自于所述底片驱动设备;在步骤E中驱动的动力优选为来自于所述覆铜箔板驱动设备。所述底片驱动设备,优选为用于输出所述晒架的底片安装框所在平面上的两个以上方向的驱动;所述覆铜箔板驱动设备,优选为用于输出所述覆铜箔板所在平面上的两个以上方向的驱动。在步骤A之前,所述优选为进一步包括在所述底片驱动设备和所述覆铜箔板驱动设备上设置对位感应器和控制器;则,所述步骤A优选为包括通过所述对位感应器感应所述第一位置偏差;所述步骤B优选为包括所述控制器从所述对位感应器获取所述第一位置偏差;所述步骤D优选为包括通过所述对位感应器感应所述第二位置偏差;所述步骤E优选为包括所述控制器从所述对位感应器获取所述第二位置偏差。 所述步骤A优选为包括所述对位感应器采用自动感应的感应方式。 所述对位感应器优选为电荷耦合元件CXD。所述步骤B和所述步骤E优选为包括采用电机带动螺母或螺杆转动的方式进行所述驱动。在步骤E之前,所述优选为进一步包括通过晒架的底片安装框的上框和下框的机械配合,将所述上框与所述下框间的移动保持在±8um的范围内。所述将所述上框与所述上框间的移动保持在±8um的范围内优选为包括限制所述上框在其所在平面内移动和转动,仅使所述上框在其所在平面的垂直方向上进行上下移动。所述机械配合优选为包括球销与球套的机械配合、和/或方销和方套的机械配口 o通过本专利技术提供的,能够达到如下的有益效果I.本专利技术提供的,首先放入上底片、下底片,确定二者之间的位置偏差,然后针对该位置偏差进行以两个底片之一为基准调节另一个底片;然后将对位完毕的上底片、下底片锁定后,将覆铜箔板放入上底片、下底片之间,确定覆铜箔板与上底片或下底片的位置偏差,然后针对该位置偏差以上底片或下底片为基准调节覆铜箔板,从而达到底片和覆铜箔板分别对位,独立调节,使底片装载简单,对位易操作、准确性高。2.本专利技术在上底片、下底片对位前,在晒架上安装了底片驱动设备、覆铜箔板驱动设备,二者相互独立操作,提高了对位的简单性和易操作性。3.本专利技术还包括安装了对位感应器,通过其确定上底片、下底片之间的位置偏差,底片与覆铜箔板之间的位置偏差,且该对位感应器能自动检测、实时跟踪,从而提高了对位的效率和准确性。4.本专利技术还设置了机械配合,将上框与下框间的移动保持在±8um的范围内,从而进一步提闻了对位的精确性和对位的效率。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案,以下将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,以下描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员而言,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图所示实施例得到其它的实施例及其附图。图I为本专利技术一个实施例中的流程示意图。具体实施例方式以下将结合附图对本专利技术各实施例的技术方案进行清楚、完整的描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施例,都属于本专利技术所保护的范围。本专利技术提供一种,适用于配有覆铜箔板的晒架,包括如下步骤A.根据放入晒架中的上底片和下底片的位置,确定所述上底片、下底片之间的第 一位置偏差;B.由所述第一位置偏差确定底片移动值,根据所述底片移动值,以所述上底片和所述下底片其中之一为基准,驱动另一个至所述上底片、所述下底片对位;C.在所述上底片、所述下底片对位结束后,将所述上底片、所述下底片进行位置锁定;D.根据放入被位置锁定的所述上底片和所述下底片之间的所述覆铜箔板的位置,确定所述覆铜箔板与所述上底片或所述下底片之间的第二位置偏差;E.由所述第二位置偏差确定覆铜箔板移动值,根据所述覆铜箔板移动值,以所述上底片或所述下底片为基准,驱动所述覆铜箔板至所述覆铜箔板与所述上底片、所述下底片对位。本专利技术提供的一种,首先放入上底片、下底片,根据放入晒架中的上底片和下底片的位置,确定二者之间的位置偏差,然后针对该位置偏差进行以两个底片之一为基准调节另一个底片;然后将对位完毕的上底片、下底片锁定后,将覆铜箔板放入上底片、下底片之间,根据覆铜箔板的位置,确定覆铜箔板与上底片或下底片的位置偏差,然后针对该位置偏差以上底片或下底片为基准调节覆铜箔板,从而达到底片和覆铜箔板分别对位,独立调节,使底片装载简单,对位易操作,准确性高。下面通过一个具体实施例来详细描述本专利技术提供的一种,见图1,所示步骤101,在晒架上设置底片驱动设备;该底片驱动设备,用于输出晒架的底片安装框所在平面上的两个以上方向的驱动。比如同一平面内相互垂直的X、Y轴方向上的驱动或转动。该底片驱动设备主要是为了提供上述的驱动,因此可以采用现有的任何一种驱动设备,比如电机带动螺母或螺杆转动的方式。步骤102,在晒架上设置覆铜箔板驱动设备;该覆铜箔板驱动设备,用于输出覆铜箔板所在平面上的两个以上方向的驱动。比如同一平面内相互垂直的X、Y轴方向上的驱动或转动。该覆铜箔板驱动设备主要是为了提供上述的驱动,因此可以采用现有的任何一种驱动设备,比如电机带动螺母或螺杆转动的方式。步骤103,设置对位感应器和控制器;对位感应本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种曝光对位方法,适用于曝光机,其特征在于,包括如下步骤:A.根据放入晒架中的上底片和下底片的位置,确定所述上底片、下底片之间的第一位置偏差;B.由所述第一位置偏差确定底片移动值,根据所述底片移动值,以所述上底片和所述下底片其中之一为基准,驱动另一个至所述上底片、所述下底片对位;C.在所述上底片、所述下底片对位结束后,将所述上底片、所述下底片进行位置锁定;D.根据放入被位置锁定的所述上底片和所述下底片之间的所述覆铜箔板的位置,确定所述覆铜箔板与所述上底片或所述下底片之间的第二位置偏差;E.由所述第二位置偏差确定覆铜箔板移动值,根据所述覆铜箔板移动值,以所述上底片或所述下底片为基准,驱动所述覆铜箔板至所述覆铜箔板与所述上底片、所述下底片对位。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李炬李松凌肖丽王金鹏王安建佘瑞峰
申请(专利权)人:四川聚能核技术工程有限公司
类型:发明
国别省市:

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