【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
具有至多为0.5的像方数值孔径的成像光学系统，其特征在于分辨能力好于8nm。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：汉斯于尔根曼，威廉乌尔里克，斯蒂芬马伦德，哈特穆特恩基希，
申请(专利权)人：卡尔蔡司SMT有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。