防尘薄膜组件框架、其制造方法以及防尘薄膜组件技术

提供一种在碳纤维中含浸树脂的复合体，不变更尺寸而提高全体的刚性，轻量化可能并制造简单的防尘薄膜组件框架。防尘薄膜组件框架10的长方形形状的防尘薄膜组件框架10的各边，由长纤维状的碳纤维和树脂和的复合材料形成的细长部件14，20来形成，上述碳纤维，细长部件14，20的纵方向分配方向。细长部件14，20的全表面树脂皮膜来包覆，从而没有碳纤维露出。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术，涉及在半导体装置、印刷基板或液晶显示器等的制造时，作为防尘物使用的防尘薄膜组件框架、其制造方法以及防尘薄膜组件。
技术介绍
在LSI，超LSI等的半导体制造或者液晶显示器等的制造中，半导体晶片或液晶用原板用光照射进行图案制作。此时用的光掩模或中间掩模(以下，均称光掩模)如果有灰尘付着，该灰尘会对光进行吸收或使光弯曲，从而使转印的图案变形，图案的边缘变得模糊。进一步，对图案进行转印的基底脏污等，有使转印的图案的尺寸，品质，外观等受损的情况。为此，这些的操作通常在无尘室中进行，即使如此要经常保持光掩模清洁也是困难的。因此，在作为光掩模表面的防尘物，有防尘薄膜贴付了的防尘薄膜组件在光掩模上进行贴付曝光。在该场合，异物不直接付着在光掩模的表面，而是在防尘薄膜上付着，由此光刻时只要将焦点合在光掩模的图案上，防尘薄膜上的异物对转印映像就没有影响。 一般，防尘薄膜组件，将使用光良好透过的硝化纤维素，こ酸纤维素或者氟树脂等的透明的防尘薄膜贴附在由铝，不锈钢，聚こ烯等形成的框状的防尘薄膜组件框架的上端面进行贴附。进一歩，防尘薄膜组件框架的下端设置用于安装光掩模的聚丁烯树脂、聚こ酸こ烯基酯树脂、丙烯酸树脂以及硅氧烷树脂等形成的粘着层，以及以保护粘着层为目的的离型层(剥离片)。但是，要将薄的防尘薄膜绷紧用防尘薄膜组件框架来支持，就要以具有适当大小的张カ的状态粘结于防尘薄膜组件框架。为此，以往的防尘薄膜组件中，防尘薄膜贴付后的防尘薄膜组件框架，由于防尘薄膜的张力，会发生向内侧的挠曲。该现象，例如在印刷基板以及液晶显示器制造中在使用大型的防尘薄膜组件中显著出现。如此，防尘薄膜组件框架挠曲，即外形的直线性差的防尘薄膜组件的场合，向光掩模的贴付位置的精度差。进一歩，光掩模，由于低成本化，要尽可能确保曝光领域。为此，防尘薄膜组件框架的向内侧的的挠曲要尽量地小。另外，防尘薄膜组件框架中，厚度方向(高度方向)的挠曲也会发生。特别是，在边长超过1000_的超大型的防尘薄膜组件框架中，其两端被支持进行防尘薄膜的贴付エ序等被水平搬送时，中央部在向下方向会有大的挠曲，防尘薄膜的贴付等的处理会产生非常大的问题，产生不能恢复的塑性变形(翘曲)。作为解决该防尘薄膜组件框架的挠曲的手段，在专利文献I中，记载了在防尘薄膜的贴付时，根据防尘薄膜的张力，使用预先在各边的中央部，使其向外侧凸状突出的防尘薄膜组件框架，从而使各边变为直线状。但是，预先根据防尘薄膜的张カ使防尘薄膜组件框架的挠曲量，对使防尘薄膜组件框架的各边的中央部形成突出部的突出量进行予測使困难的。而且，该防尘薄膜组件框架中，其厚度方向的挠曲也没有解决。防尘薄膜组件框架的内侧方向以及上下方向的挠曲的解决，可以通过提高防尘薄膜组件框架的刚性即可，即通过使防尘薄膜组件框架的截面积的増大即可达成达成。但是，防尘薄膜组件框架的截面积，即尺寸加大的方法，会使防尘薄膜组件框架的内侧的曝光领域的问题就会发生，关于其外侧也有光掩模的固定以及搬送中的处理用的间隙也有确保的必要。进ー步，防尘薄膜组件框架的厚度方向(高度方向)的尺寸也与曝光装置有关，所以被限制在3至8mm程度。由此，防尘薄膜组件框架的尺寸设计的自由度就几乎没有了，所以通过防尘薄膜组件框架的截面积的増大的方法来提高防尘薄膜组件框架的刚性是难以采用的。另外，在提高防尘薄膜组件框架的刚性中，使用弹性系数高的材质也是ー种手段。该手段，例如下述专利文献2中，公开了在铝合金的框体中，将具有更大的弾性系数的含有将包括不锈钢的铁或钛进行埋入的方法来防止防尘薄膜组件框架挠曲的方法。先有技术文献专利文献专利文献I特开2006-56544号公报专利文献2特开2006-284927号公报
技术实现思路
上述的专利文献2记载的防尘薄膜组件框架，可以不使防尘薄膜组件框架的尺寸变更，就可以来提高全体的刚性。但是，钢铁以及不锈钢等的铁类合金的埋入的防尘薄膜组件框架的重量极大，钛的加工性(被削性)非常差，所以防尘薄膜组件框架的制造有困难。本专利技术人，为了得到刚性提高的防尘薄膜组件框架，对使用碳纤维中含浸树脂的复合体进行了探讨。但是，如图10的(a)所示的那样，长纤维状的碳纤维从一方向分配方向(分配方向的意思是确定碳纤维的长度的走向)的复合体50中将防尘薄膜组件框架52切出的场合，长边或者短边的任ー个，在边的纵方向进行分配方向的碳纤维就会变得没有了，由此，防尘薄膜组件框架52的全体的刚性就难以得到提高。再者，如图10的(b)所示得那样，从长纤维状的碳纤维以平织状来织成的复合体54将防尘薄膜组件框架52切出的场合，碳纤维的几乎一半没有纵方向的分配方向，由此防尘薄膜组件框架52的全体的刚性的提高是困难的。另外，从图10的(a)所示的复合体50，将防尘薄膜组件框架52的各边，使长纤维状的碳纤维按边的纵方向进行分配方向那样切出，如图11所示那样在角部用螺栓55或铆钉进行接合来将防尘薄膜组件框架52的组装也进行了考虑。但是，碳纤维的复合材的韧性差，对螺钉加工不太适应。本专利技术，就使为解决上述的课题而成的。本专利技术的目的就是提供ー种利用在碳纤维中使树脂含浸的复合体，不用尺寸变更就可以提高防尘薄膜组件框架的全体的刚性，并能轻量化并且制造简单的防尘薄膜组件框架以及其制造方法，防尘薄膜组件。为了达到上述的目的，技术方案I记载的防尘薄膜组件框架，在多角形状的防尘薄膜组件框架的各边，由长纤维状的碳纤维和树脂的复合材料形成细长部件来形成，上述碳纤維，以上述细长部件的纵方向进行分配方向为特征。技术方案2记载的防尘薄膜组件框架，其按照技术方案1，其特征在于上述细长部件的全表面用树脂皮膜覆盖，以使上述碳纤维不露出。技术方案3记载的防尘薄膜组件框架，其根据按权利要求1，所述细长部件，大量的长纤维状的碳纤维进行纵方向分配方向，是以使树脂含浸的多条的细长片状体层叠形成为特征。技术方案4记载的防尘薄膜组件框架，其特征在于多条的上述细长片状体就象模仿上述防尘薄膜组件框架的形状那样接续成的多个框状体叠层而形成，上述细长片状体的接合部，位于上述防尘薄膜组件框架的角部近傍，上述接合部的位置与紧挨的上面的所述框状体以及/或者紧贴下面的所述框状体是不同的。技术方案5记载的防尘薄膜组件框架的制造方法，其特征在于形成多角形状的防尘薄膜组件框架的对应边用切削加工形成宽以及长，将多条的长纤维状的碳纤维按纵方向分配方向，含浸树脂的多条的细长状的片状体，在上述防尘薄膜组件框架的角部预定形成的位置近傍接续的框状部件，其特征在于上述片状体的接续位置不同的多条的框状部件的形成エ序；、将多条的上述框状部件叠层粘接形成叠层体，使上述接续位置与紧挨上面的框状部件以及/或者紧贴下面的框状部件的接续位置不同的エ序；将上述叠层体切削加工成具有规定的宽以及长，形成多角形状的防尘薄膜组件框架的エ序。技术方案6记载的防尘薄膜组件框架的制造方法，其根据技术方案5，其特征在于在切削加工得到的上述防尘薄膜组件框架的全表面，形成树脂皮膜的エ序。技术方案7记载的防尘薄膜组件，其使用技术方案I至4的任一项记载的防尘薄膜组件框架，其特征在于贴附了防尘薄膜。专利技术的效果本专利技术的防尘薄膜组件框架，在形成其各边的细长部件在纵方向上长纤维状的碳纤维分配方向。由此，防尘薄膜组件框架的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防尘薄膜组件框架，其多角形状的防尘薄膜组件框架的各边由长纤维状的碳纤维和树脂的复合材料构成的细长部件而形成，其特征在于，上述碳纤维在上述细长部件的纵方进行分配方向。

【技术特征摘要】
2011.04.04 JP 2011-0828441.一种防尘薄膜组件框架，其多角形状的防尘薄膜组件框架的各边由长纤维状的碳纤维和树脂的复合材料构成的细长部件而形成，其特征在于，上述碳纤维在上述细长部件的纵方进行分配方向。2.根据权利要求I所述的防尘薄膜组件框架，其特征在于所述细长部件的全表面被树脂皮膜包覆，由此上述碳纤维不会露出。3.根据权利要求I所述的防尘薄膜组件框架，其特征在于所述细长部件，由多条长纤维状的碳纤维在纵方向上分配方向并含浸树脂的多条的细长片状体叠层而形成。4.根据权利要求3所述的防尘薄膜组件框架，其特征在于上述防尘薄膜组件框架，由多条所述细长片状体仿照所述防尘薄膜组件框架的形状，进行接续的多个框状体叠层而形成，所述细长片状体的接合部，位于所述防尘薄膜组件框架的角部近傍，所述接合部的位置对紧挨的其上面的所述述框状体以及/或者紧贴下面的所...

【专利技术属性】
技术研发人员：関原一敏，
申请(专利权)人：信越化学工业株式会社，
类型：发明
国别省市：