一种连续式真空镀膜设备输送装置，包含前端升降机构与后端升降机构，前端升降机构与后端升降机构分别设有一双向运转动力源，各个双向运转动力源分别驱动复数滚轴呈同向转动，位于连续式真空镀膜设备的下方设有一组回传机构；前端升降机构、后端升降机构、该进料基台、该镀膜基台与该出料基台分别增设一带体、一支撑件与一动力源，每一条带体分别环设于其中二个滚轴与其中支撑件，各个动力源分别驱动回传机构的数个滚轴呈同向转动，主要用来提升生产效率、输送稳定性与增加和产品良率。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术系提供ー种真空镀膜设备输送装置，尤指其技术上提供ー种提升生产效率、传动稳定和增加产品良率的连续式真空镀膜设备输送装置。
技术介绍
按，现今溅镀设备多为连续式多腔体型式，以取代传统批次式或晶圆式生产方式，其传动主要由滚轴是以点接触方式带动承载盘，因此具有摩擦力不足而易造成承载盘打滑，使滚轮空转而无法移动承载盘，且因承载盘不平整，在传动时会造成位移偏差，具有稳 定性的问题；且摩擦使滚轴表面材质磨耗产生污染物附着在承载盘及腔体内，镀膜表面会因污染物的影响，产生异质颗粒或异常透光而影响其均匀度及透光性，具有降低镀膜质量与良率的问题，又回传机构只设ー个马达驱动滚轴，若操作者不小心没有将镀膜基材放置于承载盘，真空镀膜设备输送出空的承载盘，且回传机构无法在同时间调整多个承载盘具有不同的传送速度，则会延迟作业循环的时间，造成产能降低的问题。是以，针对上述习知结构所存在之问题点，如何开发ー种更具理想实用性之创新结构，实消费者所殷切企盼，亦系相关业者须努力研发突破之目标及方向。有鉴于此，创作人本于多年从事相关产品之制造开发与设计经验，针对上述之目标，详加设计与审慎评估后，终得ー确具实用性之本创作。
技术实现思路
本技术的目的欲解决之技术问题点习用之真空镀膜设备主要由滚轴以点接处的方式来带动承载盘，因摩擦力不足造成承载盘打滑，使滚轮空转而无法移动承载盘，且承载盘不平整，在传动时会造成位移偏差，具有稳定性的问题；且摩擦使滚轴表面材质磨耗产生污染物附着在承载盘及腔体内，镀膜表面会产生异质颗粒或异常透光，具有降低镀膜质量与良率的问题，又回传机构只设ー马达驱动滚轴，回传机构无法在同时间调整多个承载盘具有不同的传送速度，会延迟到整体作业的循环时间，造成产能降低的问题。解决问题之技术方案提供一种连续式真空镀膜设备输送装置，系包含有前端升降机构与后端升降机构分别连接于连续式真空镀膜设备的产品输入端与输出端，前端升降机构与后端升降机构分别设有一双向运转动力源，各个双向运转动力源分别驱动复数滚轴呈同向转动，各个滚轴沿着连续式真空镀膜设备的输送方向排列设置，且各个轴心方向与输送方向互相垂直，另前端升降机构与后端升降机构分别设有ー个可侦测高点位置的上感测开关与ー个可侦测低点位置的下感测开关，各升降机构邻近连续式真空镀膜设备的ー端设有ー个感测开关，且远离连续式真空镀膜设备的一端设有ー个定位感测开关；位于连续式真空镀膜设备的下方设有ー进料基台、一镀膜基台与一出料基台，连续式真空镀膜设备的下方设有ー组回传机构，并延伸于前端升降机构与后端升降机构，回传机构具有ー个动カ源驱动数个同向转动的滚轴，且邻近前端升降机构的一端设有ー个感测开关；前端升降机构、后端升降机构、该进料基台、该镀膜基台与该出料基台分别具有一条带体、一支撑部与该动カ源，每一条带体分别环设于其中二个滚轴与其中支撑部，各个动カ源分别驱动回传机构的数个滚轴呈同向转动。对照先前技术之功效本创作之各滚轴分别环设有一帯体，带体是以面接触的方式运送承载盘，使承载盘的运输过程中不会打滑或造成位移偏差，且不会因摩擦而产生污染物或噪音，具有増加运送稳定性和提升产品良率的功效，并于各个基台设置ー个马达与ー侦测感测开关，每个马达各自独立，当承载盘上没有镀膜成品吋，则侦测感测开关会驱动马达以较快的转速运转，使该回传机构能将空的承载盘快速送出，调整回传机构的循环时间，不会造成下次出料的延迟，以提升产线的生产效率。附图说明图I :本技术之立体外观图。图2 :本技术之侧视剖面图。图3 :本技术之局部放大立体图。图4 :本技术皮带之另ー实施例。主要组件符号说明(10)进料腔体、(11)镀膜腔体、(12)出料腔体、(13)动カ输出设备、(14)滚轴、(15)进料基台、(16)镀膜基台、(17)出料基台、(18)前置基台、(19)后置基台、(20)前端升降机构、(21)双向运转动力源、(22)滚轴、(23)传动组件、(24)感测开关、(25)定位感测开关、(26)带体、(27)支撑件、(201)上感测开关、(202)下感测开关、(203)伸縮结构、(30 )后端升降机构、(31)双向运转动力源、(32 )滚轴、(33 )传动组件、(34 )感测开关、(35 )定位感测开关、(36)带体、(37)支撑件、(301)上感测开关、(302)下感测开关、(303)伸缩结构>(40)回传机构、(41)动カ源、(42 )滚轴,(43)传动组件、(44)控制感测开关、(45 )带体、(46)支撑件、(47)侦测感测开关、(50)承载盘、(51)承载基架、(52)镀膜成品、(60)平台。具体实施方式有关本创作所采用之技术、手段及其功效，兹举一较佳实施例并配合图式详细说明于后，相信本创作上述之目的、构造及特征，当可由之得一深入而具体的了解。參阅第I至第4图所示，本创作系利用连续式真空镀膜生产设备，而在内部形成一输送装置，其依序设有连续式真空镀膜设备所需的一进料腔体(10)、一镀膜腔体(11)与一出料腔体(12)，各该腔体(10) (11) (12)内分别设有一动カ输出设备(13)，以分别驱动ー滚轮(14)转动，而各该腔体(10) (11) (12)分别依序承置于ー进料基台(15)、一镀膜基台与一出料基台(17)上，沿着各该基台(15)(16) (17)的排列方向设有一位于该进料基台(15)前侧的前置基台(18)，一位于该出料基台(17)后侧的后置基台(19)，该三个基台(15)(16) (17)之间设有一回传机构(40)，各该基台(15) (16) (17)的ニ侧壁分别具有一支撑件(27) (37) (46)，且分别具有一侦测感测开关(47)，该回传机构(40)邻近前端升降机构(20)的一端具设有ー控制感测开关(44)，各该基台(15) (16) (17)分别设有ー动力源(41)，各该动カ源(41)分别透过一传动组件(43)带动该回传机构(40)的数个该滚轴(42 )呈同向转动，该传动组件可为链条或皮带。另该前置基台(18)与该后置基台(19)内分别设有一前端升降机构(20)、一后端升降机构(30)，较佳者，该前、后端升降机构(20) (30)分别为一伸缩结构(203) (303)，该伸缩机构(203) (303)透过正反转马达驱动，该伸缩结构(203) (303)的顶端分别水平设有一平台(60)，该平台(60)邻近该回传机构(40)的一端则设有ー感测开关(24) (34)，而远离该回传机构(40)的一端则设有定位感测开关(25) (35)，于该平台(60)顶面分别设有ニ个平行并列之滚轴(22) (32)与一支撑件(27) (36)，另于平台之ー侧分别设有一双向运转动カ源(21) (31)，各该双向运转动力源(21) (31)透过各该传动组件(23) (33)，例如链条或皮带，带动各该滚轴(22) (32)旋转，当该前、后端升降机构(20) (30)往上顶出时，各该滚轴(22) (32)是与各该腔体(10) (11) (12)内的滚轴(14)等高，向下沉入时各该滚轴(22) (32)与该回传机构(40)的滚轴(42)等高；又各该带体(26) (36) (45)分别环设于其中二该滚轴(22) (32本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种连续式真空镀膜设备输送装置，可供配合连续式真空镀膜设备，系包含有 一前端升降机构与ー后端升降机构分别连接于连续式真空镀膜设备的产品输入端与输出端，该前端升降机构与该后端升降机构分别设一双向运转动力源，各该双向运转动力源分别驱动复数滚轴呈同向转动，各该滚轴沿着连续式真空镀膜设备的输送方向排列设置，且各该轴心方向与输送方向互相垂直，另该前端升降机构与该后端升降机构分别设有一可侦测高点位置的上感测开关与一可侦测低点位置的下感测开关，各该升降机构邻近连续式真空镀膜设备的一端设有ー感测开关，且远离连续式真空镀膜设备的一端设有一定位感测开关；位于连续式真空镀膜设备的下方设有ー进料基台、一镀膜基台与一出料基台，连续式真空镀膜设备的下方设有一回传机构，并延伸于该前端升降机构与该后端升降机构，该回传机构具有一动カ源驱动复数同向转动的滚轴； 其特征在于，该前端升降机构、该后端升降机构与该进料基台、该镀膜基台与该...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄能杰，
申请(专利权)人：黄能杰，
类型：实用新型
国别省市：
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