【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种真空镀膜技术，尤指一种连续真空镀膜装置。技术背景一般的真空镀膜，是在一个固定的镀膜空间进行，镀件每镀一层膜，需要从镀膜腔体取出，再进行第二次镀膜，工作效率低，成本高，污染环境严重。
技术实现思路
为解决前述存在的问题，本技术提供一种连续真空镀膜装置，该装置由若干个镀膜腔体串接节联构成，每个镀膜腔体配置有离子束清洗源、和/或过滤阴极真空镀膜膜源、和/或磁控溅射源和分子真空泵，镀膜腔体之间用插板阀关闭密封或开启，节联的镀膜腔体，两头各有一个装载/卸载室和一个真空过渡室，装载/卸载室后面分别有镀制工件转动架平台，镀制工件转动架平台上放置镀制工件转动架，镀制工件转动架上悬挂有镀制工件，镀制工件转动架通过传动滚轴传送到各个镀膜腔体，依次、连续实施不同需求的连续镀膜后，分别从一端的装载/卸载室取出。所述多个镀膜腔体，每个腔体是框架箱体结构，腔体两头是矩形开口，分别与矩形插板阀连接密封，以使不同腔体有不同真空度，或者两腔体对接密封，以使对接的腔体有相同的真空度，旁边设有分子真空泵，腔休下方有传动滚轴，腔体底部与旋转加偏压装置连接，腔体一侧有过滤阴极真空镀膜膜源接口。镀膜腔体采用标准设计。所述两头的装载/卸载室和真空过渡室，其大小与镀膜腔体匹配，并与镀膜腔体串接贯通，由插板阀连接密封，每个真空过渡室有分子真空泵。所述旋转加偏压装置，设有气缸和电动机，电动机转轴连接一纵向转轴，转轴顶端有机械咬合装置，通过气缸使旋转加偏压装置升降，上升时，机械咬合装置嵌进镀膜腔体内放置的镀制工件转动架的槽内嵌合，电机带动镀制工件转动架在镀膜腔体内旋转，实施镀膜。所述的过滤阴极真空...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种连续真空镀膜装置，其特征在于该装置由若干个镀膜腔体串接节联构成，每个镀膜腔体配置有离子束清洗源、和/或过滤阴极真空镀膜膜源、和/或磁控溅射源和分子真空泵，镀膜腔体之间用插板阀关闭密封或开启，节联的镀膜腔体，两头各有一个装载/卸载室和一个真空过渡室，装载/卸载室后面分别有镀制工件转动架平台，镀制工件转动架平台上放置镀制工件转动架，镀制工件转动架上悬挂有镀制工件，镀制工件转动架通过传动滚轴传送到各个镀膜腔体，依次、连续实施不同需求的连续镀膜后，分别从一端的装载/卸载室取出。2.根据权利要求I所述的连续真空镀膜装置，其特征在于所述多个镀膜腔体，每个腔体是框架箱体结构，腔体两头是矩形开口，分别与矩形插板阀连接密封，或者两腔体对接密封，旁边设有分子真空泵，腔休下方有传动滚轴，腔体...
【专利技术属性】
技术研发人员：史旭，
申请(专利权)人：纳峰真空镀膜上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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