【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种镀膜设备的真空抽气系统。
技术介绍
现有镀膜设备如成都真空PM1650-II型镀膜设备的真空抽气系统由机械泵、罗茨泵、增压泵、扩散泵、保持泵和真空管道阀门等所组成，在每次抽真空过程中各泵组会按先后顺序，从机械泵一罗茨泵一增压泵一扩散泵依次逐级启动。当抽真空初始，腔体内有大量的空气，需要机械泵将大部分空气抽走之后罗茨泵才能全速启动，否则罗茨泵如果过早全速启动会因为空气太多而导致超负荷损坏，所以在机械泵开始抽气到罗茨泵能正常开启，这中间有1-2分钟的时间罗茨泵是处于停止等待的状态，这就浪费了时间，影响生产效 率。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种改进的镀膜设备真空抽气系统，它使罗茨泵从抽气一开始便可以和其它机械泵一起参与运转，加快了整个抽气的过程。本技术解决上述问题所采用的技术方案是一种改进的镀膜设备真空抽气系统，包括按顺序依次启动的机械泵、罗茨泵、增压泵、扩散泵、保持泵，罗茨泵的启动系统装有可控制转速实现无级变速的变频器。由于变频器可根据电机的实际负荷量来控制罗茨泵的转速实现无级变速，罗茨泵从抽气一开始便可以和其它机械泵一起参与运转，逐渐加速至额定转速，加快了整个抽气的过程，大大提高了生产效率。以下结合附图和实施例对本技术进一步说明。图I :现有技术工作流程图图2 :本技术工作流程图具体实施方式本技术实施例是对成都真空机械厂生产的PM1650-II型镀膜设备真空抽气系统的改进。如图I所示，PM1650-II型的真空抽气系统包括机械泵、罗茨泵、增压泵、扩散泵、保持泵，各种泵按顺序依次逐级启动，只有当机械泵将大部分空气抽走之后罗茨泵才能全速启动。...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.ー种改进的镀膜设备真空抽气系统，包括按顺序依次启动的机械泵、罗茨泵、增压泵...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴明忠，
申请(专利权)人：海宁长宇镀铝材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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