【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光电
,特别是能提高发光效率的发光二极管及其制备方法。
技术介绍
半导体被广泛应用于固态照明光源,其绿色节能的特点被普遍关注,其具有发热量低、耗电量小、寿命长、反应速度快、体积小可平面封装等优点,使半导体照明有望成为下一代照明光源。氮化镓半导体材料由于其高导热,宽带隙,高稳定性等特征用于制造发光二极管受到广大关注,由于近年来外延设备和技术的进步,很大程度上提升了发光二极管的外延质量,使其内量子效率得到显著提升。目前发光二极管在汽车内外灯光、显示器背光、室外景观照明,便携式系统闪光灯、投影仪光源、广告灯箱、电筒、交通灯等都有广泛应用。发光二极管的一般制造方法是在蓝宝石衬底上生长氮化镓基材料,P型和N型电极同方向,而且N型电极被刻蚀出来,造成很大面积的有源区被刻蚀掉,直接影响到发光效率。现有技术中,为了提高发光效率,如中国专利公开号为CN101017876的《一种氮化镓发光二极管管芯及其制造方法》,它将蓝宝石衬底刻蚀穿,与N型氮化镓接触制作N型电极,减少有源区刻蚀损失;如中国专利公开号为CN1123937C的《以蓝宝石为基板的蓝光发光二极管及其制造方法》,它提出在蓝宝石基板上设置刻蚀通道。上述技术,由于蓝宝石衬底的刻蚀工艺困难,不便于大量生产。
技术实现思路
针对上述现有技术的不足,本专利技术的目的是提供。它可以有效提高发光效率,提升芯片的质量和性能,具有工艺简单,适宜大量生产的特点。为了达到上述专利技术目的,本专利技术的技术方案以如下方式实现 一种提高发光效率的发光二极管,它包括衬底上方的依次由N型半导体层、发光层和P型半导体层组成的发 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种提高发光效率的发光二极管,它包括衬底(I)上方的依次由N型半导体层、发光层和p型半导体层组成的发光结构(2),发光结构(2)的一端设置P型电极,与P型电极相对的另一端设置N型电极(7),其特征在于,所述N型电极(7)下方设有刻蚀孔(3),刻蚀孔(3)侧壁设置SiO2保护层(5)。2.根据权利要求I所述的发光二极管,其特征在于,所述刻蚀孔(3)直径为3-20ym。3.一种提高发光效率的发光二极管的制备方法,具体步骤为 (D在衬底(I)上分别外...
【专利技术属性】
技术研发人员:张雪亮,
申请(专利权)人:同方光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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