涂敷装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种涂敷装置，其能减弱外部振动的影响，特别是能有效抑制因外部振动而引起的共振。在支撑载台（２）和狭缝喷嘴移动机构的方管（２０、２１ａ～２１ｃ）的凹部（３０）中，填装防共振部件（３１）。由于在方管中填装防共振部件可改变基座（１）的固有振动频率，因此不会因外部振动而变成共振状态。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种涂敷装置，利用喷嘴移动机构使狭缝喷嘴移动，向放置于载台上的衬底涂敷涂敷液，其特征在于：　　　　在支撑上述喷嘴移动机构的框架上设置有凹部，在该凹部中填充了固有振动频率与上述框架不同的防共振部件。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：宫本英典，升芳明，池尻浩一，曽根康博，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，龙云株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[]