一种接合修复方法，是在将两个接合对象于其相对面内设定的接合目标部进行接合的接合工艺中，当该接合目标部的至少一部分产生未接合部时，通过向该未接合部照射激光来修复该未接合部的接合状态。

器件的制造方法是制造具有空腔的器件的方法，包括接合步骤和内压调节步骤。在接合步骤中，通过将2个接合对象接合而形成空腔，并且在该空腔内密封气体吸附件，该气体吸附件能够在光的照射下吸附该空腔内的气体。在接合步骤之后，在内压调节步骤中，通过向...

本发明提供半导体器件的制造方法，其包括分割层形成步骤、固接部形成步骤和分割步骤。在分割层形成步骤中，在从以半导体为主要成分的第一基片的表面起规定深度的位置形成分割层，该分割层用于使具有该规定深度的厚度的半导体基片从第一基片分离。在分割层...

本发明提供堆叠器件的制造方法，在由第一支承体保持着第一接合对象的状态下对该第一接合对象实施用于将多个基底区域分别单片化的切割加工之前，在分离步骤中，在由第二支承体保持着设置有多个芯片区域的第二接合对象的状态下，通过对该第二接合对象实施使...

本发明的堆叠器件的制造方法执行第一形成步骤、第二形成步骤和接合步骤。在第一形成步骤中，在利用第一保持片保持着设置有多个芯片区域的第一接合对象的状态下，在第一接合对象形成用于将该多个芯片区域各自单片化的切割部。在第二形成步骤中，在利用第二...

本发明提供一种接合方法，包括层叠工序和接合处理工序。在层叠工序中，以成为在第1接合对象和第2接合对象的接合面之间夹有吸热层和接合材料层的状态的方式，使第1接合对象和第2接合对象重叠。在接合处理工序中，通过向吸热层照射激光，利用吸热层从激...

本发明提供一种接合装置，其是使用激光将第1接合对象和第2接合对象接合的装置，包括第1工作台、加压机构、第2工作台和激光光源。第1工作台是具有使激光透射的透射性的工作台，位于第1接合对象的背面侧。加压机构是对第1接合对象的背面施加压力的机...

接合装置具备工作台、加压机构、发出激光的激光光源以及控制部。在此，工作台具有相对于激光的透过性，在该工作台上，以使第一金属层与第二金属层相对置的状态载置两个接合对象。加压机构是具有隔膜，且能够从与工作台相反侧用该隔膜对接合对象的背面施加...

接合装置具备工作台、加压机构、发出激光的激光光源以及控制部。在此，工作台具有相对于激光的透过性，在该工作台上，以使第一金属层与第二金属层相对置的状态载置两个接合对象。加压机构是具有隔膜，且能够从与工作台相反侧用该隔膜对接合对象的背面施加...

本发明提供一种杀菌灯。杀菌灯具备：放电管、接地电极部、高电压电极部、安全罩及遮光部。放电管由用于生成准分子光的放电用气体充满。接地电极部及高电压电极部通过在放电管内产生放电而激励放电用气体。安全罩由电绝缘性的有机材料形成，覆盖高电压电极...

一种涂布装置，具备：处理室；喷嘴，在该处理室内沿涂布对象面相对移动并向该涂布对象面涂布结晶材料的溶液；内压调整部，调整处理室的内压；及控制部。并且，控制部在通过喷嘴进行溶液的涂布的情况下，利用内压调整部调整处理室的内压，从而使涂布于涂布...

贴合装置具备第一卡盘部(1A)、第二卡盘部(1B)、第一基部(21A)、第二基部(21B)以及第一浮动机构(3A)。第一卡盘部(1A)以及第二卡盘部(1B)是分别具有吸附贴合对象的吸附面的一对卡盘部，并且使彼此的吸附面(11a以及11b...

对准机构具备具有第一旋转轴(61c)的旋转部(61)、三个动力传递机构(62)以及三个对准作用部(63)。各动力传递机构(62)具备第一臂(621)以及第二臂(622)。第一臂(621)具有：第一端部(621a)，轴支承于三个不同的位置...

喷出装置具备将喷出用流体喷出的喷嘴、喷出侧泵、驱动侧泵以及加热装置。喷出侧泵具有压力传递构件和隔着该压力传递构件而彼此相邻的喷出室以及驱动室，喷出室由喷出用流体充满，驱动室由驱动用流体充满。驱动侧泵是对驱动用流体施加压力的泵，施加于驱动...

本发明提供一种由具有滑动部的驱动系统驱动而输送液体的泵（10）的流量控制方法，在泵（10）的动作初期，使流量保持在微小的第一流量（R1）后，使流量增加至稳定的第二流量（R）。根据该方法，在泵（10）的工作初期，预先建立泵（10）稳定在微...

本发明的吸附平台，其目的在于不使极薄的板片状工件的表面产生凹凸的情况下，整面齐平地加以抽吸。吸附平台（1），以设定于保持面（1A）的吸附部抽吸并吸附极薄的板片状工件。本发明的吸附平台具有吸附沟（10）、多个下孔（20）以及多个连通沟（3...

高效地溶解除去干状态的膜。本发明的除膜方法使喷嘴头(10B)接近在基板(200)上形成的溶解性的膜(201)，从喷嘴头(10B)连续地喷出药液(300)并同时吸入药液(300)，从而在喷嘴头(10B)与膜(201)之间形成药液的积液(3...

提供一种紧凑且访问性优异的晶圆更换装置。本发明的晶圆更换装置具备第一柄（10）及第二柄（20）、第一升降单元（30）、壳体（40）、水平移动单元（50）、以及第二升降单元（60）。第一柄（10）及第二柄（20）以左右分割形状形成为大致线...

提供一种能够大幅减轻工艺成本和环境负荷的图案化方法。本发明的图案化方法包括：成膜工序，在基板（1）上形成功能膜（2）；以及蚀刻工序，通过从具有在功能膜（2）上方设置的任意的开口部（4A）的掩膜（4）的上方照射真空紫外线（12），从而对位...

提供在涂敷开始前调整涂敷位置而高成品率地在片材上形成涂敷膜的片材涂敷装置。在对片材（W）间歇搬运的搬运机构（10）的停止期间，驱动第一喷嘴水平移动机构（17）及第二喷嘴水平移动机构（18）使喷嘴（14）沿着片材（W）的搬运方向及正交方向...