涂敷装置以及涂敷方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供涂敷装置以及涂敷方法，能够抑制开始进行涂敷处理时最初从喷嘴喷出的涂覆液以鼓起的方式被涂敷，能够从涂敷处理的开始时刻以适当的涂膜厚度对涂敷对象物进行涂敷，结构简单且用于进行涂膜厚度调节的控制容易。涂敷装置具备：涂覆液供给源，其通过加压将贮存于罐的涂覆液向涂覆液供给系统挤出并供给；喷嘴，其与涂覆液供给系统连接，一边喷出供给来的涂覆液一边相对于涂敷对象物移动，对涂敷对象物进行涂敷处理；开闭阀，其设于涂覆液供给系统，在开始进行涂敷处理时打开，向喷嘴供给涂覆液后关闭，停止涂覆液向喷嘴的供给；以及缓冲罐，其设于涂覆液供给系统，并且内部充满涂覆液，该缓冲罐抑制开闭阀打开时朝向喷嘴传播的压力变化。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种涂敷装置以及涂敷方法，即使采用加压供给方式，也能够抑制在开始进行涂敷处理时，最初从喷嘴喷出的涂覆液以鼓起的方式被涂敷的情况，能够从涂敷处理的开始时刻起以适当的涂膜厚度在涂敷对象物上进行涂敷，并且结构简单，且用于进行涂膜厚度调节的控制也较为容易。
技术介绍
专利文献1、2公开了一种涂覆装置，该涂敷装置采用通过基于加压的挤出进行供给的加压供给方式，将贮存于罐内部的涂覆液向相对于基板等涂敷对象物进行相对移动的喷嘴供给，由此从喷嘴喷出涂覆液，对涂敷对象物进行涂敷处理。专利文献1的“狭缝式涂敷装置”的课题在于提供不增加设备成本，且控制涂敷开始和结束时的药液的喷出量从而得到均匀的涂敷膜的狭缝式涂敷装置，在涂敷开始和结束时控制药液的喷出量的狭缝式涂敷装置中，具备：具有进行所述涂敷药液供给的开启(ON)/断开(OFF)的一直关闭的单动药液阀的机构、具有能够通过来自控制器的电信号自如地改变用于驱动(控制)该药液阀的开闭的空气压力的电动气动调整器的机构、以及具有用于向所述调整器传送电信号的控制器的机构。在专利文献1中，药液形成为在加压罐中通过精密调整器被加压，供给至药液阀的阀跟前的状态，并形成为通过所设定的电动气动调整器的空气压力将药液阀的阀打开，从而向狭缝喷嘴供给药液的结构。专利文献2的“基板处理装置以及送液装置”的课题在于，提供在不产生颗粒的情况下高精度地输送处理液的装置，在对狭缝喷嘴输送抗蚀剂液(处理液)的送液机构中，设置有抗蚀剂泵和驱动机构。此外，在抗蚀剂泵设置小径的第一波纹管、大径的第二波纹管、第一波纹管与第二波纹
管的接合部件、以及成为抗蚀剂液的流路的管。驱动机构使接合部件向下方移动，由此管的内部容积减小，管内的抗蚀剂液被输送至狭缝喷嘴。另外，驱动机构使接合部件向上方移动，管的内部容积增加，由此抗蚀剂液被抽吸至抗蚀剂泵。在专利文献2中，基板处理装置作为供给抗蚀剂液的供给机构而具备补给装置、缓冲罐、传感器，缓冲罐设置为用于通过暂时贮存抗蚀剂液而分离去除混入抗蚀剂液中的空气，控制系统控制缓冲罐，由此通过大气压进行抗蚀剂液向狭缝喷嘴的输送。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2002-254008号公报专利文献2：日本特开2004-281640号公报在图5中示出了加压供给方式的基本结构。在气密构造的罐a上，为了补充涂覆液b而连接有具有涂覆液补充用开闭阀c的涂覆液补充系统d，并且为了向罐a导入空气等加压用气体而连接有具有气体导入用开闭阀e的气体导入系统f。一边对导入至罐a的气体进行加压，以使罐a内部保持为规定的恒定压力值，一边通过该加压从罐a中挤出涂覆液b。为了将从罐a挤出的涂覆液b向喷嘴g供给并喷出，在罐a与喷嘴g之间设置有具有开闭阀h的涂覆液供给系统i。喷嘴g与涂敷对象物j相对移动，由此利用从喷嘴g喷出的涂覆液b对涂敷对象物j进行涂敷处理。在对涂敷对象物j进行涂敷处理时，预先从涂覆液补充系统d向罐a补充并贮存至少一次涂敷处理的量的涂覆液b。通过打开气体导入用开闭阀e而导入至罐a内部的气体通过该加压作用，从罐a向涂覆液供给系统i挤出涂覆液b。详细而言，与因涂覆液b的挤出而导致的罐a内部的涂覆液b的减少相应地继续向罐a内部导入气体，由此一边将罐a内部保持为规定的恒定压力值，一边维持挤出涂覆液b的加压作用。从加压至恒定压力值的罐a挤出的涂覆液b通过打开的开闭阀h向喷嘴g供给，供给至喷嘴g的涂覆液b始终以恒定的喷出压力从喷嘴g朝向涂敷对象物j喷出，在喷出过程中也不发生压力的变动。由此，具有以恒定的涂膜厚度对涂敷对象物j进行涂敷处理的优点。在开始进行涂敷处理时，通常，从罐a内部到喷嘴g内部的整个范围内几乎充满涂覆液b，并且关闭涂覆液供给系统i的开闭阀h，切断涂覆液b的流通。此时，为了与涂敷处理的开始相应地供给涂覆液b而向罐a导入气体，通过该气体，罐a内部被加压至规定的恒定压力值。因此，涂覆液b从罐a朝向开闭阀h受到挤出作用。因此，当打开开闭阀h时，虽然罐a内部大致是规定的恒定压力值，但由于之前处于关闭状态的开闭阀h瞬间打开，因而涂覆液b朝向喷嘴g突然流动，如图5的曲线图所示，与罐a内部的恒定的压力状态无关地，以略大的喷出量从喷嘴g喷出涂覆液b。其结果是，在开始进行涂敷处理时，例如在最初从喷嘴g喷出的涂覆液b所涂敷的涂敷开始端k，如图中m部分所示那样，存在涂覆液b鼓起的课题。
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术是鉴于上述以往的课题而完成的，其目的在于提供一种涂敷装置以及涂敷方法，即使采用加压供给方式，也能够抑制在开始进行涂敷处理时，最初从喷嘴喷出的涂覆液以鼓起的方式被涂敷的情况，能够从涂敷处理的开始时刻起以适当的涂膜厚度在涂敷对象物上进行涂敷，并且结构简单，且用于进行涂膜厚度调节的控制也较为容易。用于解决课题的手段本专利技术的涂敷装置的特征在于，具备：涂覆液供给源，其通过加压而将贮存于罐内的涂覆液向涂覆液供给系统挤出并供给；喷嘴，其与该涂覆液供给系统连接，一边喷出供给来的涂覆液，一边相对于涂敷对象物进行相对移动，对涂敷对象物进行涂敷处理；开闭阀，其设置于所述涂覆液供给系统，在开始进行涂敷处理时打开，向所述喷嘴供给涂覆液，之后关闭，停止涂覆液向该喷嘴的供给；以及缓冲罐，其设置于所述涂覆液供给系统，并且内部充满涂覆液，该缓冲罐抑制在所述开闭阀打开时朝向所述喷嘴传播的压力的变化。所述涂敷装置的特征在于，所述缓冲罐为可变容量型。所述涂敷装置的特征在于，代替所述缓冲罐，在所述涂覆液供给系统
中设置有注射泵，该注射泵配置在所述开闭阀与所述喷嘴之间，该注射泵在开始进行涂敷处理时且是该开闭阀关闭的状态下，向该喷嘴供给涂覆液，代替在开始进行涂敷处理时打开该开闭阀的情况，该开闭阀与由所述注射泵进行的涂覆液的供给停止相应地打开。所述涂敷装置的特征在于，在所述涂覆液供给源与所述喷嘴之间，以与涂覆液供给系统并行的方式设置有追加的涂覆液供给系统，在该追加的涂覆液供给系统中设置有注射泵，该注射泵在开始进行涂敷处理时且是所述开闭阀关闭的状态下，向所述喷嘴供给涂覆液，代替在开始进行涂敷处理时打开该开闭阀的情况，该开闭阀与由所述注射泵进行的涂覆液的供给停止相应地打开。本专利技术的涂敷方法的特征在于，使用代替缓冲罐而具备注射泵的所述涂敷装置，在开始进行涂敷处理时且是所述开闭阀关闭的状态下，从所述注射泵向所述喷嘴供给涂覆液，接着，为了继续进行涂敷处理，与由所述注射泵进行的涂覆液的供给停止相应地打开所述开闭阀，从所述涂覆液供给源向所述喷嘴供给涂覆液。本专利技术的涂敷方法的特征在于，使用具备追加的涂覆液供给系统的所述涂敷装置，在开始进行涂敷处理时且是所述涂覆液供给系统的所述开闭阀关闭的状态下，从所述注射泵经由所述追加的涂覆液供给系统向所述喷嘴供给涂覆液，接着，为了继续进行涂敷处理，与由所述注射泵进行的涂覆液的供给停止相应地打开所述开闭阀，从所述涂覆液供给源经由所述涂覆液供给系统向所述喷嘴供给涂覆液。专利技术效果在本专利技术的涂敷装置以及涂敷方法中，即使采用加压供给方式，也能够抑制在开始进行涂敷处理时，最初从喷嘴喷出的涂覆液以鼓起的方式被涂敷的情况，能够从涂敷处理的开始时刻起以适当的涂膜厚度在涂敷对象物上进行涂敷，并且结构简单，且还能够本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂敷装置，其特征在于，具备：涂覆液供给源，其通过加压而将贮存于罐内的涂覆液向涂覆液供给系统挤出并供给；喷嘴，其与该涂覆液供给系统连接，一边喷出供给来的涂覆液，一边相对于涂敷对象物进行相对移动，对涂敷对象物进行涂敷处理；开闭阀，其设置于所述涂覆液供给系统，在开始进行涂敷处理时打开，向所述喷嘴供给涂覆液，之后关闭，停止涂覆液向该喷嘴的供给；以及缓冲罐，其设置于所述涂覆液供给系统，并且内部充满涂覆液，该缓冲罐抑制在所述开闭阀打开时朝向所述喷嘴传播的压力的变化。

【技术特征摘要】
2014.10.29 JP 2014-2207421.一种涂敷装置，其特征在于，具备：涂覆液供给源，其通过加压而将贮存于罐内的涂覆液向涂覆液供给系统挤出并供给；喷嘴，其与该涂覆液供给系统连接，一边喷出供给来的涂覆液，一边相对于涂敷对象物进行相对移动，对涂敷对象物进行涂敷处理；开闭阀，其设置于所述涂覆液供给系统，在开始进行涂敷处理时打开，向所述喷嘴供给涂覆液，之后关闭，停止涂覆液向该喷嘴的供给；以及缓冲罐，其设置于所述涂覆液供给系统，并且内部充满涂覆液，该缓冲罐抑制在所述开闭阀打开时朝向所述喷嘴传播的压力的变化。2.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，所述缓冲罐为可变容量型。3.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，代替所述缓冲罐，在所述涂覆液供给系统中设置有注射泵，该注射泵配置在所述开闭阀与所述喷嘴之间，该注射泵在开始进行涂敷处理时且是该开闭阀关闭的状态下，向该喷嘴供给涂覆液，代替在开始进行涂敷处理时打开该开闭阀的情况，该开闭阀与由所述注射泵进行的涂覆液的供给停止相应地打开。4.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏贞雄，永井久也，横山雅树，
申请(专利权)人：中外炉工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP