【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种晶体生长炉,特别涉及一种晶体生长炉的绝热结构。
技术介绍
LED产业链相对较长,跨越了晶体生长,掏棒,基片切割,MOCVD外延及芯片,封装等等,蓝宝石晶体生长的特点为周期长,能耗高,且晶体质量无法直接反馈,随着蓝宝石晶体生长尺寸的增大和LED产业的快速普及,许多晶体生长过程中的实际问题也愈专利技术显,如能耗,周期,热场寿命,加工难度等引起了人们的关注。为了进一步推广LED照明产业的发展,降低生产成本,制备高质量的蓝宝石晶体成为行业目前亟待解决的课题。为了减少不必要的热损失,传统方法是使用石墨软毡作为传统保温材料,然而在蓝宝石炉的高温环境下,软毡容易挥发造成碳杂质进入氧化铝熔体,污染晶体。因此,为了实现对蓝宝石晶体炉热场的保温效果,现多采用金属热屏结构,即采用多个O. 1-5毫米厚的钨或钥板,弯成直径由小到大的圆筒状,并且套叠在一起并相互固定起来,最终形成一定厚度的保温层。保温层的厚度及高度,由热场需要保持的温度及热场高度决定,多为8-12层/5-7厘米厚。同时,该热场材料的使用寿命仅为18个月,因此为了保证热场使用效果及纯度,该保温材料材料需要定期更换。在实际晶体成本中,热场材料作为消耗品占成本中很大比例,而且该钨/钥金属层的保温效果在高温环境下不如传统石墨软毡。亟需寻找一种使用寿命长、绝热性能好且不污染晶体的新的绝热结构。
技术实现思路
为了解决上述问题,本技术提供了一种新的晶体生长炉的绝热结构,该结构对传统两种绝热结构进行改进,结合它们的优点,克服各自的缺陷。一种晶体生长炉的绝热结构,该绝热结构包括内层、中心层、外层,内层和外层为钨钥板,中心层 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶体生长炉的绝热结构,其特征在于该绝热结构包括内层(I)、中心层(2)、外层(3),内层⑴和外层(3)为钨钥板,中心层⑵为石墨软毡。2.根据权利要求I所述的绝热结构,其特征在于所述中心层(2)的厚度为5-100毫米。3.根据权利要求I所述的绝热结构,其特征在于所述内层(I)的厚度为0.1-5毫米。4.根据权利要求I所述的绝热结构,其特征在于所述外层(3)的厚度为0.1-5毫米。...
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