密封方法及其装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及密封方法及其装置。在贴合上下一对基板时，可将上基板固定在恒定位置进行正确的定位及对准，并且，在载置有下基板的载置台具有倾角时，也可使上下基板的单元间隙恒定，得到上述单元结构体并可提高质量及生产率。通过如下工序贴合上基板和下基板，得到单元结构体：将下基板搬入密封装置内的载置台上；将上基板到所述密封装置内的所述下基板上；对在所述上基板的上方配设的紫外线透过片材上所形成的透明电极通电，产生静电，从而将所述基板静电夹紧；在利用所述紫外线透过片材将所述上基板向下基板按压的状态下照射紫外线，使预先涂敷的密封材料硬化。

【技术实现步骤摘要】
密封方法及其装置
本专利技术涉及一种密封方法及其装置，将上基板以及下基板搬入到密封装置内，使所搬入的上下基板彼此的对准以及利用紫外线（UV）的照射使预先涂敷在上基板或下基板上的密封材料硬化，由此，使显示功能层介于之间地将上下基板贴合。
技术介绍
作为面板显示器的代表例的液晶面板、有机EL面板、电子纸面板等采用使能够进行图像显示用的显示功能层介于一对上下基板间来进行密封的单元结构体。液晶面板中的单元结构体以夹持液晶材料的方式配置有取向膜、透明电极、偏振滤光片等，并且，将上下基板间密封。另一方面，在有机EL面板中，配置由透明电极和有机半导体等构成的显示功能层，将上下基板间密封，利用透明电极使有机半导体直接发光。另外，作为电子纸面板的具有代表性的结构，配置由封入了颜料粒子以及油性材料的微胶囊和透明电极构成的显示功能层，将上下基板间密封。进而，在裸眼式的三维显示器中，在以上述方式构成的液晶面板或者有机EL面板的单元结构体的表面贴附两面凸出的片材（lenticularsheet），得到三维的图像。图10表示液晶面板的制造装置的现有技术的一例，如该图所示，在形成有透明电极的一对上下基板的一个（下基板50）上呈闭环状地涂敷密封材料51，在由该密封材料51包围的区域散布透明球状的隔离物，并且，滴下液晶材料52。然后，将该下基板50经由弹性片材55载置固定在定位工作台54上，该定位工作台54位于真空腔室53内，并且能够与下基板50面平行地在水平方向上移动地进行支撑。另一方面，在真空腔室53内能够在垂直方向上移动地进行支撑的吸附盘57上吸附固定有上基板56。接着，对真空腔室53内的空气进行排气（真空抽吸），达到预定的真空度，之后，使吸附盘57下降，在下基板50上的密封材料51以及液晶材料52与上基板56接触的跟前的位置停止，使定位工作台54移动来调整对置的上基板56和下基板50的对准标记的位置关系位，进行上下基板50、56的粗对准处理。然后，对真空腔室53内的空气进一步进行排气，提高到预定的真空度后，使吸附盘57进一步下降，对上基板56向下基板50侧加压，维持为上基板56和下基板50之间的单元间隙由透明球状的隔离物保持的状态。此时，在上下基板50、56间，下基板50上的密封材料51被压变形，同样地，被压变形的液晶材料52向由密封材料51和上下基板50、56包围的区域扩散，该区域整体被液晶材料52充满。接着，进行吸气使真空腔室53内恢复到大气压，使定位工作台54移动，从而在大气压中调整对置的上基板56和下基板50的对准标记的位置关系，进行上下基板50、56的精密的对准处理。并且，最后将实施了对准处理的上下基板50、56取出到真空腔室的外部，照射紫外线，使密封材料51硬化，单元结构体的制造工序完成（参照专利文献1）。另一方面，有机EL面板的有机半导体具有受氧气或湿气的影响而慢慢恶化导致亮度下降的性质，因而提出了除去密封材料中的气泡或水分的方法（参照专利文献2）。在该专利文献2所公开的技术中，具有对由弹性片材分隔而成的第一空间以及第二空间这两个空间进行排气的排气单元，利用该排气单元控制第一空间，使得相对于第二空间为负压，使在两空间产生的差压经由弹性片材作用于密封基板以及元件基板中的一个，从而能够进行两基板的压接。另外，在液晶面板或有机EL面板的制造工序中，在利用光压法照射紫外线使光硬化型的密封材料硬化的情况下，特别是，当有机半导体被照射紫外线时恶化变得显著，因而一般地在石英的遮光玻璃上形成遮光掩模图案，仅向密封材料照射紫外线（参照专利文献3）。在该专利文献3所公开的技术中，在形成有光电层的基板的背面侧配置遮光玻璃，为了气密性地覆盖光电层，在使基板和密封构件经由密封材料压接在一起的状态下，从遮光玻璃侧照射紫外线，使密封材料硬化，从而将基板和密封构件接合在一起，因此，对与遮光玻璃基板的接触面实施疏水处理，防止遮光玻璃和基板发生贴附。上述专利文献3所公开的结构是采用价格极高的石英玻璃的方法，从耐久性等方面考虑存在问题，因此本申请的申请人采用具有柔软性以及透光性的片材构件，在紫外线透过片材上压接成为单元结构体的上侧基板，在紫外线透过片材的透过率低于允许范围的情况下，能够连续供给未使用的部分。并且，以该紫外线透过片材为边界形成能够减压的第一腔室和第二腔室，能够从单元结构体的两面进行压力控制（参照专利文献4）。专利文献1：日本特开2002-296601号公报。专利文献2：日本特开2005-276754号公报。专利文献3：日本特开2006-004707号公报。专利文献4：日本特开2009-058783号公报。但是，液晶面板以及有机EL面板具有大型化的趋势，随着面板的大型化，制造装置也大型化。另外，即使面板大型化也进行贴合的上下基板向密封装置的搬入搬出利用专用的搬送装置来进行，必须不伴随人工作业。假如通过人工作业进行上下基板的搬入搬出的情况下，因从作业者的衣服等飞散灰尘、或者因来自身体的汗的蒸发而无法维持适当的湿度，不能够得到与无尘室相当的环境，显著降低生产的效率。另外，为了提高生产效率，期望在单元结构体的上下形成的腔室尽可能为所需的最低限度的容量。即，进行上下基板的贴合的腔室内每一个工序每次必须处于高真空度，必须使基板间的单元间隙内的真空度提高。但是，在该腔室的容量大的情况下，其内部的空气的吸引量也变大，所以，真空泵的动作时间成比例地增长，这成为重要的原因，使生产效率下降，使生产成本上升。特别是，在制造有机EL面板的情况下，要求极高的真空度，因此必须尽可能使腔室小型化，高效地形成真空状态。而且，虽然使腔室为小型，但必须具有能够进行向该腔室内搬入上下基板以及搬出所完成的单元结构体并得到气密状态的开闭门，能够进行自动生产。另外，由于所搬入的上基板在腔室内必须保持在恒定位置上，所以，如专利文献3那样提出支撑上基板的端部的方法。在利用这种方法的情况下，潜在如下可能性，不能够正确地进行对准：上基板成为暂时置于支撑部上的状态，通过使支撑部下降，从而上基板成为仅载置在下基板上的不稳定状态，也就是，上基板在下基板上的位置未被固定，有可能发生位置偏移。该对准处理是液晶面板、有机EL面板的制造工序中的重要工艺，但是，在用于能够通过裸视观察立体图像的三维显示器的面板中，要求极高精度的对准。即，在三维显示器中，在面板的表面配置有两面凸出的片材，该两面凸出的片材排列有与该面板的各像素分别对应的双凸透镜，但是，此时，必须使面板的各像素与双凸透镜正确地一致。另外，液晶面板中的液晶材料、有机EL面板中的有机半导体、电子纸面板中的微胶囊受到的由透明电极形成的电场强度必须在全部显示区域均匀。因此，理想的是，单元间隙在全部显示区域完全恒定，但是，在实际的液晶面板的制造中，严格要求其允许误差为0.1µm以下，维持该精度提高质量以及生产率。但是，在如专利文献4公开的例子那样具有载置下基板的载置台的结构中，难以始终维持该载置台的完全水平，也难以始终监视其水平度。但是，当在载置台具有倾角的情况下，利用机械单元将上基板向下基板按压时，该按压力不均匀，因该倾角的影响，产生单元间隙宽的部分和窄的部分。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题而提出的，其目的在于，在对上下一对基板进行密封本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
2011.02.15 JP 2011-0298611.一种密封方法，使所涂敷的密封材料硬化，将上下一对基板贴合，其特征在于，通过如下工序贴合上基板和下基板，得到单元结构体：将下基板搬入到密封装置内的载置台上；将上基板搬入到所述密封装置内的所述下基板上；对在所述上基板的上方配设的紫外线透过片材上所形成的透明电极通电，产生静电，由此，对所述上基板进行静电夹紧；在利用所述紫外线透过片材将所述上基板向下基板按压的状态下照射紫外线，使预先涂敷的密封材料硬化。2.如权利要求1所述的密封方法，其特征在于，上下基板的至少一个的原材料是透明玻璃或者透明合成树脂。3.如权利要求1所述的密封方法，其特征在于，在成为图像显示面的基板的表面预先贴设两面凸出的片材。4.一种密封装置，其特征在于，具有：空室壳体，在上表面形成有开口部并且具有吸排气口，并且，在内部能够升降地设置载置台和下基板的支撑杆；紫外线透过片材，覆盖所述空...

【专利技术属性】
技术研发人员：水流则幸，长田雅治，腰原元晴，
申请(专利权)人：常阳工学株式会社，
类型：发明
国别省市：