【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种基于双通道光栅的微小角位移传感器，属于光电传感器
技术介绍
高频永磁力矩马达具有频响高、位移小、输出力矩较小和外形结构复杂等特点。因此对其进行静动态性能的测量，需采用具有高分辨率、高频响、高灵敏度、良好线性度和实时性，并适用于非接触式测量的传感器。常用的高精度、非接触式测量的位移传感器有电涡流传感器和激光位移传感器两种。电涡流传感器基于电涡流效应工作，可用于金属导体(铁磁材料或非铁磁材料均可)的位移测量，具有非接触式测量、灵敏度高、抗干扰能力强、不受非导磁介质如油、油污、灰尘、水和蒸汽的影响，可靠性高，能工作于腐蚀环境等优点。但永磁力矩马达等元件的外形结构复杂，其固定部件及运动部件均为金属，因此电涡流传感器不适用于高频永磁力矩马达等元件的测量。激光位移传感器以激光及其光路为位移信号的传输介质，激光的方向性好、光功率稳定，因此测量精度高,线性度好,稳定性好,体积小,而且适用于非接触式测量。激光位移传感器以电荷耦合器件(CCD)、CM0S器件或位置敏感器件(PSD)为光电接收元件，测量分辨率和频率高，但高解析度CCD、CMOS等光电接收元...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
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