温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种基于双通道光栅的微小角位移传感器：它主要包括：一可发生线状激光并通过一准直透镜会聚后射到被测物体上被反射的线状激光器，一可接收所述被反射的线状激光的聚焦透镜并被会聚，在该聚焦透镜之后设置有由会聚后线状激光分别照射并透过双通道光栅的一通道...
该专利属于方平所有，仅供学习研究参考，未经过方平授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。