硅片切割方法及切割废料回收方法技术

技术编号:7660301 阅读:196 留言:0更新日期:2012-08-09 04:02
本发明专利技术涉及切割机械技术领域,尤其涉及一种硅片切割方法及切割废料的回收。硅片切割方法,利用线切割设备的钢丝在惰性气体环境下对硅锭进行切割,切割成硅片。硅片切割废料回收方法,采用上述硅片切割方法切割硅锭后,会产生废料,废料的回收包括如下步骤:1)采用固液分离的方式从废料中分离出聚乙二醇和固体混合物。2)对固体混合物进行清洗。3)采用萃取分离的方式将固体混合物进行初步的分离,分离出硅和碳化硅。4)将分离出的硅进行浮选,浮选出硅和碳化硅。由于采用上述技术方案,本发明专利技术能对硅片切割后的废料进行回收利用,降低了硅片切割的成本,并解决了切割废料的污染,环保节能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及切割机械
,尤其涉及一种硅片切割方法及切割废料的回收。
技术介绍
近年来,随着全球石油、煤炭等能源日益紧张,太阳能逐渐成为重要的新能源,全球的太阳能产业进入了高速发展期。制备太阳能电池时,需要将高纯硅形成多晶硅锭,然后切割成硅片。在切割过程中,会有部分晶体硅被切磨为高纯硅粉进入到切割浆料中,造成了资源的浪费。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种硅片切割方法,以解决上述技术问题。本专利技术的另一目的在于提供一种硅片切割废料回收方法,以解决上述技术问题。本专利技术所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现硅片切割方法,利用线切割设备,采用线切割技术对硅锭进行切割,切割成硅片,其特征在干,所述线切割设备包括钢丝,所述钢丝在对硅锭进行切割之前,在所述钢丝上均匀涂覆一层衆磨料;所述线切割设备和硅锭放置在惰性气体环境中,所述钢丝在惰性气体环境下对硅锭进行切割。本专利技术将硅片的切割过程放置在惰性气体环境中进行,这样在切割过程中,能有效避免切割下来的硅粉氧化,以便在回收切割废料时,能提取出较高纯度的硅材料。所述浆磨料包括碳化硅和切割油料的混合料;所述切割油料包括聚こニ醇。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:叶海峰
申请(专利权)人:上海五同机械制造有限公司
类型:发明
国别省市:

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