下载硅片切割方法及切割废料回收方法的技术资料

文档序号:7660301

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本发明涉及切割机械技术领域,尤其涉及一种硅片切割方法及切割废料的回收。硅片切割方法,利用线切割设备的钢丝在惰性气体环境下对硅锭进行切割,切割成硅片。硅片切割废料回收方法,采用上述硅片切割方法切割硅锭后,会产生废料,废料的回收包括如下步骤:1...
该专利属于上海五同机械制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海五同机械制造有限公司授权不得商用。

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