晶体硅铸锭炉用坩埚制造技术

技术编号:7658979 阅读:400 留言:0更新日期:2012-08-07 04:28
一种晶体硅铸锭炉用坩埚,包括石英坩埚以及用于支撑石英坩埚的石墨坩埚,石英坩埚嵌装在石墨坩埚内,其中的石墨坩埚由三块结构相同的石墨板块连接构成,在各连接处形成沟槽。本实用新型专利技术中的石墨坩埚由三种结构相同的石墨板块连接组成,在连接处形成沟槽,当石英坩埚出现裂纹时,可在沟槽的导引之下,将溢流硅液及时按指定流向溢流,产生报警,同时石墨坩埚的底部拐角处设置为弧形,形成缓冲区,可减少石墨坩埚的破裂。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种坩埚,特别涉及一种晶体硅铸锭炉用坩埚
技术介绍
现有技术使用的铸锭炉用于支撑石英坩埚的石墨坩埚都是由四块侧板与一块底板组合而成,当发生硅液溢出时,硅液在石墨坩埚上可以任意流动,没有一定的溢流导向性。由于在铸锭过程中,温度高达1500°C以上,此时发生硅液溢是一种极其严重工艺事故,必须迅速对其进行处理,而硅液的不确定流向延长了事故的报警时间,极易引发更为严重的后果。同时,由于石墨坩埚与石英坩埚的膨胀系数不同,高温过程容易导致石墨坩埚破裂O
技术实现思路
本技术的目的,就是针对现有技术中存在的上述问题,提供一种设计合理、使用方便、能有效导引硅液流向的晶体硅铸锭炉用坩埚。为了实现上述目的,本技术采用了以下技术方案一种晶体硅铸锭炉用坩埚,包括石英坩埚以及用于支撑石英坩埚的石墨坩埚,石英坩埚嵌装在石墨坩埚内,其中的石墨坩埚由三块结构相同的石墨板块连接构成,在各连接处形成沟槽。所述的石墨坩埚的底部拐角处呈弧形。本技术中的石墨坩埚由三种结构相同的石墨板块连接组成,在连接处形成沟槽,当石英坩埚出现裂纹时,可在沟槽的导引之下,将溢流硅液及时按指定流向溢流,产生报警,同时石墨坩埚的底部拐角处设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:吴新正朱旭张愿成张滢清李红波
申请(专利权)人:上海太阳能工程技术研究中心有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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