平板玻璃异物检测装置及检测方法制造方法及图纸

技术编号:7629451 阅读:266 留言:0更新日期:2012-08-02 03:31
本发明专利技术涉及一种平板玻璃异物检测装置及检测方法,本发明专利技术提供一种平板玻璃异物检测装置,其特征在于,包括:一照明单元,其设在以平板玻璃为准上部或下部领域中选择的任意一个领域;一第一偏光板,其设在照明单元与上述平板玻璃之间,并具有第一偏光方向;一第一照相机及第二照相机,其以平板玻璃为准设在设有上述照明单元的相反方向;一第二偏光板,其设在第一照相机与上述平板玻璃之间的空间,并具有与第一偏光板的偏光方向相差0°至20°范围的偏光方向;一第四偏光板,其设在第二照相机与上述平板玻璃之间的空间,并具有与第一偏光板的偏光方向相差70°至90°范围的偏光方向;及一处理单元,输进自第一照相机与上述第二照相机获得的影像后,辨别是良性异物还是不良异物。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种,尤其涉及一种精确检测在平板玻璃内部包含的显著影响其质量的金属及陶瓷成分异物的。
技术介绍
在平板玻璃制造工程中溶解玻璃原料而制作平板的过程中发生的内部异物有气泡、金属、陶瓷成分等。这些内部异物显著影响平板玻璃的质量,因此需要精确的检测技术。进而根据内部异物的成分,影响平板玻璃质量的程度不同,因此要求区分这些进行检测的技术。尤其,在内部异物中金属或陶瓷成分对玻璃质量的影响显著,但气泡成分的影响不大,因此即使内含有气泡成分,也能够作为太阳能电池保护玻璃使用。如此用于检出在玻璃基板内部包含的异物的检测装置,通常使用暗场光学系统(DF)与明场光学系统(BF)。首先,简略说明明场光学系统如下。图I为图示用于检测在玻璃基板上存在的异物的明场光学系统的图。参照图I,明场光学系统构成为,感应照相机3相对于玻璃基板I位于光源2的规则反射方向。因此,自光源2发出的光主要经过两个光线路径2a、2b到达感应照相机3,一个光线路径2a是在玻璃基板I的上面发生的反射光,另一光线路径2b是在玻璃基板I的下面发生的反射光。在感应照相机3上映入这两个光线路径2a、2b的反射图像,而形成明场。这种明场光学系统摄影移送到的玻璃基板的反射图像,而进行检测,在上述摄影过程中明场光学系统利用反射光源而获得实像与虚像(影子)图像,并计算这些实像与虚像之间的距离,从而辨别是否存在异物。接着,简略说明暗场光学系统如下。图2为图示用于检测在玻璃基板上存在的缺陷的暗场光学系统的图。参照图2,在暗场光学系统中感应照相机5布置在玻璃基板I的上侦牝并且光源6布置在玻璃基板I的下侧,因此不利用反射光而利用透射光摄影图像。即,暗场光学系统是在穿透玻璃基板的光束7中收集暗场成分而检出玻璃基板I上存在的异物的方式。然而,以前利用明场光学系统或暗场光学系统进行检测时存在如下问题,虽然容易查出异物的正确位置,但不能辨别发现的异物是含有金属、陶瓷成分的显著影响玻璃质量的异物,还是像气泡成分一样对玻璃质量没有什么影响的异物。
技术实现思路
本专利技术用于解决如上所述的问题,其涉及一种将平板玻璃内包含的异物精确辨别为影响玻璃质量的异物与不影响玻璃质量的异物的。根据本专利技术的上述目的通过一种平板玻璃异物检测装置可以实现,其特征在于,包括一照明单元,其设在以平板玻璃为准上部或下部领域中选择的任意一个领域;一第一偏光板,其设在照明单兀与上述平板玻璃之间,并具有第一偏光方向;一第一照相机及第二照相机,其以平板玻璃为准设在设有上述照明单元的相反方向;一第二偏光板,其设在第一照相机与上述平板玻璃之间的空间,并具有与第一偏光板的偏光方向相差0°至20°范围的偏光方向;一第四偏光板,其设在第二照相机与上述平板玻璃之间的空间,并具有与第一偏光板的偏光方向相差70°至90°范围的偏光方向;及一处理单兀,输进自第一照相机与上述第二照相机获得的影像后,辨别是良性异物还是不良异物。 根据本专利技术的上述目的通过一种平板玻璃异物检测方法可以实现,作为辨别在平板玻璃内部包含的异物是良性异物还是不良异物的平板玻璃异物检测方法,其特征在于,包括在平板玻璃上照射偏光的光,并将具有与上述偏光的光的偏光方向相差0°至20°范围的偏光方向的偏光板穿透的光进行摄影,从而获得图像的第一步骤;在平板玻璃上照射偏光的光,并将具有与上述偏光的光的偏光方向相差70°至90°范围的偏光方向的偏光板穿透的光进行摄影,从而获得图像的第二步骤;比较在第一步骤获得的图像与在上述第二步骤获得的图像,辨别在上述平板玻璃中包含的异物是影响玻璃质量的不良异物还是不影响玻璃质量的良性异物的第三步骤,第一步骤及上述第二步骤可以同时进行或与顺序无关随意进行。以前的平板玻璃检测装置或检测方法不能辨别在平板玻璃中包含的异物是气泡成分一样的良性异物,还是像金属性或陶瓷成分的异物一样的不良异物,但根据本专利技术的,利用偏光板能够明确辨别在平板玻璃中内含气泡成分的异物,还是内含金属性或陶瓷性异物。附图说明图I为根据本专利技术的一实施例的平板玻璃异物检测装置的构成图。图2为图示用于检测在玻璃基板上存在的缺陷的暗场光学系统的构成图。图3为根据本专利技术的一实施例的平板玻璃异物检测装置的构成图。图4为根据本专利技术的一实施例的平板玻璃异物检测装置的构成图。图5为根据本专利技术的一实施例的平板玻璃异物检测装置的构成图。图6为利用图4中提示的摄影装置结构而摄影含有200um大小气泡成分异物的平板玻璃的相片。图7为利用图4中提示的摄影装置结构而摄影含有200um大小金属性异物的平板玻璃的相片。附图标记I :平板玻璃4 :异物10 :第一照相机 11 :第一偏光板13 :第二偏光板15 :第三偏光板17:第四偏光板20:第二照相机31 :第一照明单元 33 :第二照明单元60 :第一摄影装置 70 :第二摄影装置具体实施方式下面,参照附图详细说明根据本专利技术的的优先实施例、优点及特征。图3为根据本专利技术的一实施例的平板玻璃异物检测装置的构成图。根据本专利技术的平板玻璃异物检测装置由用 于摄影附着或内含于平板玻璃I中的异物4的第一摄影装置60及第二摄影装置70、从摄影的图像中辨别异物4的处理单元50构成。第一摄影装置60由在平板玻璃I的上部或下部中选择的任意一个方向上朝着平板玻璃I照射光的第一照明单元31、分别设在平板玻璃I的上部与下部并具有大致平行的偏光方向的第一偏光板11及第二偏光板13、以平板玻璃为准设在第一照明单兀31的相反方向,并将在第一偏光板11及第二偏光板13中以平板玻璃为准设在第一照明单兀31相反方向的偏光板穿透的光进行摄影的第一照相机10构成。在此所谓具有大致平行的偏光方向是指,第一偏光板11及第二偏光板13的偏光方向设置成相差大约0°至20°范围。第二摄影装置70由在平板玻璃I的上部或下部中选择的任意一个方向上朝着平板玻璃I照射光的第二照明单元33、在平板玻璃I的上部与下部各设置一个并具有大致垂直的偏光方向的第三偏光板15及第四偏光板17、以平板玻璃为准设在第二照明单元33的相反方向,并将在第三偏光板15及第四偏光板17中以平板玻璃为准设在第二照明单元33相反方向的偏光板穿透的光进行摄影的第二照相机20构成。在此所谓具有大致垂直的偏光方向是指,第三偏光板15及第四偏光板17的偏光方向设置成相差大约70°至90°范围。处理单元是将附着或内含于平板玻璃11中的异物4利用第一摄影装置60摄影的异物图像与利用第二摄影装置70摄影的异物图像进行相互比较,而辨别该异物是影响玻璃质量的不良异物或该异物是不影响玻璃质量的良性异物的装置,可利用具有图像处理单元及计算单元的电脑等来实施。在太阳能电池保护用平板玻璃I内部含有气泡成分等异物,入射的太阳光虽然有一部分进行曲折,但大部分都透过,因此作为太阳能电池保护用平板玻璃使用没有什么问题。因此在太阳能电池保护用平板玻璃I内包含的气泡成分异物分类为良性异物。相反,若在太阳能电池保护用平板玻璃I内含有像金属性或陶瓷性物质一样反射及/或散乱太阳光的异物,由于其具有反射及/或散乱入射的太阳光的特性,因此作为太阳能电池保护用使用时有问题。因此在太阳能电池保护用平板玻璃I内包含的具有反射及/或散乱特性的异物分类为不良异物。下面,如图3所示第一摄影装置60本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:金贤佑金美先柳昭罗金佳贤金泰皓李昌夏
申请(专利权)人:三星康宁精密素材株式会社
类型:发明
国别省市:

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