用于制造平面显示器的基板的清洗液组合物制造技术

本发明专利技术公开了一种用于清洗用于平面显示器的基板表面的水性清洗组合物衍生物，所述水性清洗组合物包括硼酸组分和选自有机磷酸和其盐中的一种或多种化合物，且在制造平面显示器期间，可高度去除基板上产生的有机污染物或颗粒，以及非常有效地防止在基板上形成的金属布线的腐蚀。所述水性清洗组合物包括大量去离子水，因此容易处理和对环境友好。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹嚆重，房淳洪，金圣植，金炳默，
申请(专利权)人：东友FINECHEM股份有限公司，
类型：发明
国别省市：