曝光方法、曝光装置及元件制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种曝光方法、曝光装置及元件制造方法，使用干涉仪(16y)、与测量值的短期稳定性优于该干涉仪的编码器((24A，26A1)(24B，26B1))，来测量移动体(RST)在Y轴方向的位置信息，并根据该测量结果来执行既定的校正动作，以取得对编码器的测量值进行修正的修正信息。由此，能使用干涉仪的测量值来取得修正信息，该修正信息用以修正测量值的短期稳定性优于该干涉仪的编码器的测量值。又，可根据编码器的测量值与该修正信息，来以良好精度将移动体驱动于Y轴方向。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术，是移动体驱动方法及移动体驱动系统、图案形成方法及图案形成装置、曝光方法及曝光装置、以及元件制造方法，更详细而言是有关于将移动体至少驱动于一轴方向的移动体驱动方法、非常适用于该方法的移动体驱动系统、使用该移动体驱动方法的图案形成方法、具备该移动体驱动系统的图案形成装置、使用该移动体驱动方法的曝光方法、 具备移动体驱动系统的曝光装置、以及使用该图案形成方法的元件制造方法。
技术介绍
以往，于半导体元件、液晶显示元件等微型元件(电子元件等)的制造时的光刻步骤中，多是使用步进重复方式的缩小投影曝光装置(即步进机)、或是步进扫描方式的扫描型投影曝光装置(即扫描步进机、也称扫描机)等。此种曝光装置，为了要将标线片(或光掩膜)的图案转印至晶片上的复数个照射区域，通过例如线性马达等，将保持着晶片的晶片载台驱动于XY2维方向。特别是在扫描步进机的情形时，不仅限于晶片载台，连标线片载台也通过线性马达等以既定行程驱动于扫描方向。标线片载台及晶片载台的位置测量，一般作法，是使用长期看来测量值具有良好稳定性、且具备高解析能力的激光干涉仪。然而，图案随着半导体元件的高积体化而渐趋微细，而对载台的位置控制遂有更高精度的要求，目前，已无法忽视在激光干涉仪的光束光路上因环境气氛的温度晃动而造成测量值的短期变动现象。另一方面，在最近的位置测量装置中，有出现一种编码器，其测量的解析能力高于激光干涉仪(例如，参照专利文献1)。然而，由于编码器有使用标尺(光栅)，而会随着标尺的使用时间的经过而衍生各种误差要因(格子间距的偏移、固定位置的偏移、及热膨胀等)，而欠缺长期稳定的机械特性。因此，编码器与激光干涉仪相较，有欠缺测量值的直线性、长期稳定性较差的缺点。专利文献1美国专利第6，639，686号说明书
技术实现思路
本专利技术，基于以上事项而揭示，由第1观点观之，是一种移动体驱动方法(第1移动体驱动方法)，用以将移动体驱动于至少一轴方向，具备第1步骤，使用第1测量装置、 以及测量值的短期稳定性优于该第1测量装置的第2测量装置，来测量该移动体在该一轴方向的位置信息，并根据该第1、第2测量装置的测量结果来执行校正动作，该校正动作用以决定修正该第2测量装置的测量值的修正信息；以及第2步骤，根据该第2测量装置的测量值与该修正信息来将该移动体驱动于该一轴方向。据此，通过上述的校正动作，使用第1测量装置的测量值，来决定测量值的短期稳定性优于该第1测量装置的第2测量装置的测量值的修正信息。接着，根据第2测量装置的测量值与修正信息，将移动体驱动于该一轴方向。因此，根据已使用修正信息而予修正的第2测量装置的测量值，即根据短期稳定性与长期稳定性等均良好的移动体在一轴方向的位置信息的测量值，而能将移动体以良好精度驱动于一轴方向。本专利技术，由第2观点观之，是一种移动体驱动方法(第2移动体驱动方法)，用以将移动体驱动于与彼此正交的第1及第2轴平行的2维面内，其特征在于通过一对的第1光栅与第1编码器，来测量该移动体在与该第1轴平行的方向的位置信息；且通过第2光栅与第2编码器，来测量该移动体在与该第2轴平行的方向的位置信息；该一对的第1光栅，分别包含在该移动体上与该2维面平行的面内周期性地排列于与第1轴平行的方向的格子， 其在与各自的长边方向于该面内正交的方向彼此分离配置；该第1编码器，具有与该长边方向交叉的读头；该第2光栅，位在该移动体上的与该2维面平行的面上，以与该第1光栅的长边方向交叉的方向为长边方向延伸，且包含周期性的排列于与第2轴平行的方向；该第2编码器，具有与该第2光栅的长边方向交叉的读头单元。由此，只要移动体位在一对第1光栅中有至少一方与第1编码器所具有的读头单元对向、且第2光栅与第2编码器所具有的读头单元对向的既定行程范围内，则能通过至少一方的第1光栅与第1编码器，来测量移动体在与第1轴平行的方向的位置信息；并能通过第2光栅与第2编码器，来测量移动体在与第2轴平行的方向的位置信息。由于第1、第2 编码器的测量值具有良好的短期稳定性，因此能高精度的测量移动体在2维面内的位置信息。又，根据上述高精度测得的移动体的位置信息来驱动移动体。因此，能使移动体被高精度的驱动。本专利技术，依第3观点观之，是一种移动体驱动方法(第3移动体驱动方法)，用于将移动体至少驱动于一轴方向，包含根据编码器的测量值与该格子间距的修正信息，将该移动体驱动于该既定方向的步骤，该编码器，将检测光照射于在该移动体上面以既定方向为周期方向而配置的格子，并根据其反射光来测量该移动体在该既定方向的位置信息。由此，能够不受格子间距的偏置等的影响，而能高精度的驱动移动体。本专利技术，依第4观点观之，是用以将图案形成于物体的方法(第1图案形成方法)， 使用本专利技术的第1至第3的移动体驱动方法中的任一方法，来驱动装载有该物体的移动体， 以将图案形成于该物体。由此，通过将图案形成于装载在移动体(使用本专利技术第1至第3移动体驱动方法的任一方法而被以高精度驱动)上的物体，而能高精度的将图案形成于物体上。依本专利技术的第5观点观之，是一种将图案形成于物体的方法(第2图案形成方法)，使用本专利技术第1至第3移动体驱动方法的任一方法，驱动包含装载有该物体的移动体的复数个移动体中的至少一者，以将图案形成于该物体。由此，为了要将图案形成于物体，使用本专利技术第1至第3移动体驱动方法中的任一项，使复数个移动体中的至少1个能以高精度被驱动，以在被装载于任一移动体上的物体产生图案。本专利技术，依第6的观点观之，是一种包含图案形成步骤的元件制造方法，在该图案形成步骤中，使用本专利技术第1、第2图案形成方法中的任一项而在基板上形成图案。本专利技术，依第7观点观之，是一种通过能量束的照射来于物体形成图案的曝光方法(第1曝光方法)，使用本专利技术第1至第3移动体驱动方法的任一方法来驱动装载有该物体的移动体，以使该能量束与该物体相对移动。由此，使用本专利技术第1至第3移动体驱动方法的任一方法来驱动装载有该物体的移动体，以使照射于该物体的该能量束与该物体相对移动。因此，可通过扫描曝光来高精度的在物体上形成图案。 本专利技术，依第8观点观之，是一种移动体驱动系统(第1移动体驱动系统)，用以将移动体驱动于至少一轴方向，具备第1测量装置，用以测量该移动体在该一轴方向的位置信息；第2测量装置，用以测量该移动体在该一轴方向的位置信息，其测量值的短期稳定性优于该第1测量装置；校正装置，执行用以决定修正信息的校正动作，该修正信息使用该第 1测量装置的测量值来修正该第2测量装置的测量值；以及驱动装置，根据该第2测量装置的测量值与该修正信息，来将该移动体驱动于该一轴方向。由此，通过校正装置来执行上述的校正动作，决定修正信息的校正动作，该修正信息使用该第1测量装置的测量值来修正第2测量装置(测量值的短期稳定性优于该第1测量装置)的测量值的信息。又，通过驱动装置，根据第2测量装置的测量值与修正信息来将移动体驱动于一轴方向。因此，根据已使用修正信息而予修正的第2测量装置的测量值，即根据短期稳定性与长期稳定性等均良好的移动体在一轴方向的位置信息的测量值，而能将移动体以良好精度驱动于一轴方向。本专利技术，依第9观点观之，是一种移动体驱动系统(第2移动体驱动系统)，用以将移动体驱动于与彼此正交的第1及第2轴平本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：柴崎佑一，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：